9电子束和材料的相互作用.pptVIP

9 电子束与材料的相互作用;入射电子与原子的相互作用产生的各种信息;9.1 散射 ;图9-1 电子散射示意图 （a）与原子核作用；（b）与核外电子作用 ;9.1.1 原子核对入射电子的散射 ;9.1.2 核外电子对入射电子的散射 ;9.1.3 散射截面 ;9.1.4 电子吸收 ;9.2 电子与固体作用产生的信号 ;9.2.1 电子与固体作用产生的信号;9.2.2.电子非弹性散射平均自由程和信息深度 ;图 9-4 入射电子产生的各种信息的深度和广度范围 (a) 电子束散射区域形状(梨形作用体积) (b)重元素样品的电子束散射区域形状(半球形作用体积) 1-入射电子束；2-俄歇电子激发体积；3-样品表面；4-二次电子激发体积；5-背散射电子激发体积；6-初级X射线激发体积 ;（1）背散射电子，包括：弹性背散射电子和非弹性背散射电子。背散射电子来自样品表层几百纳米的深度范围。由于它的产额能随样品原子序数增大而增多，所以不仅能用作形貌分析，而且可以用来显示原子序数衬度，定性地用作成分分析。 （2）二次电子，在入射电子束作用下被轰击出来并离开样品表面的样品的核外电子叫做二次电子，真空中的自由电子。 二次电子一般都是在表层5～10nm深度范围内发射出来的，它对样品的表面形貌十分敏感。因此，能非常有效地显示样品的表面形貌。二次电子的产额和原子序数之间没有明显的依赖关系，所以不能用它来