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2004-11-27 1 第三章 常用传感器与敏感原件 第三章 常用传感器（2） 第三章 常用传感器与敏感原件 第一节 常用传感器分类 第二节 机械式传感器及仪器 第三节 电阻、电容与电感式传感器 第四节 磁电、压电与热电式传感器 第五节 光电传感器 第六节 光纤传感器 第七节 半导体传感器 第八节 红外测试系统 第九节 激光测试传感器 第十节 传感器选用原则 第四节 磁电、压电与热电式传感器 磁电式传感器 动圈式 磁阻式 压电式传感器 热电式传感器 热电偶 热电阻 二、压电式传感器 二、压电式传感器 – 1. 压电效应 二、压电式传感器 – 2 压电材料 高分子压电材料 典型的高分子压电材料有聚偏二氟乙烯（PVF2或PVDF）、聚氟乙烯（PVF）、改性聚氯乙烯（PVC）等。它是一种柔软的压电材料，可根据需要制成薄膜或电缆套管等形状。它不易破碎，具有防水性，可以大量连续拉制，制成较大面积或较长的尺度，价格便宜，频率响应范围较宽，测量动态范围可达80dB。 二、压电式传感器 – 3 等效电路 三、热电式传感器 1、热电偶传感器 当热电偶两个电极的材料不同，且A、B固定后，热电势EAB(T,T0)便为两接点温度T和T0的函数，即 当T0保持不变，则热电势EAB(T,T0)便为热电偶热端温度T的单值函数 2、热电阻传感器 铂的物理、化学性质都很稳定，耐高温、耐腐蚀。但在还原性介质中，特别是在高温下，易被氧化物中还原成金属的金属蒸汽污染，以致变脆，并改变电阻与温度的关系特性。可用保护套管设法避免或减轻。 第三章 常用传感器与敏感原件 * 河北工程大学 Hebei University of Engineering 机械工程测试技术基础 * 河北工程大学 Hebei University of Engineering 可逆换能器 可测范围：0.1Hz~20Hz 特点：体积小、质量小、精确度高、灵敏度高。 工作原理：敏感元件的压电效应 当沿着一定方向施加力变形时，内部产生极化现象，同时在它表面会产生符号相反的电荷； 当外力去掉后，又重新恢复不带电状态； 当作用力方向相反时，电荷的极性也随之改变。这种现象称压电效应。 在介质极化的方向施加电场时，电介质会产生形变，将电能转化成机械能，这种现象称逆压电效应。 正压电效应 逆压电效应 石英晶体 (a)晶体外形； (b)切割方向； (c)晶片 天然石英晶体，其结构形状为一个六角形晶柱，两端为一对称棱锥。 纵轴z轴，称为光轴； x轴，经过六面体棱线并垂直于光轴的方向，因为沿x轴的力作用下压电效应最强最明显，所以x轴也称为电轴； y轴，与x和z轴同时垂直的轴，因为电场作用下沿此轴方向机械变形最明显，故也称为机械轴。 天然形成的石英晶体外形 石英晶体切片双面镀银并封装 石英晶体薄片 通常把沿电轴X方向的力作用下产生电荷的压电效应称为“纵向压电效应”，电荷量正比于力，与尺寸无关。 而把沿机械轴Y方向的力用下产生电荷的压电效应称为“横向压电效应”，电荷量与尺寸有关，且与纵向效应电荷极性相反。 沿光轴Z方向受力则不产生压电效应。 在自然界中大多数晶体都具有压电效应，但压电效应十分微弱。随着对材料的深入研究，发现石英晶体、钛酸钡、锆钛酸铅等材料是性能优良的压电材料。  压电材料可以分为三大类：压电单晶、压电陶瓷、有机压电薄膜。 压电陶瓷的压电原理 压电陶瓷是人工制造的多晶体压电材料。材料内部的晶粒有许多自发极化的电畴, 它们有各自的极化方向, 在无外电场作用时,不具有压电性质,压电陶瓷呈中性；即使有外力作用，由于材料的各电畴极化方向杂乱所以总体上不现电性。在一定温度下，施加强直流外电场时, 电畴的极化方向发生转动, 趋向于按外电场方向的排列, 使材料得到极化，此后去掉强电场常温下具有了压电性，有外力作用时，电畴极化总体上显现电性。 压电陶瓷外形 高分子压电薄膜及拉制 由于外力作用而在压电材料上产生的电荷只有在无泄漏的情况下才能保存，即需要测量回路具有无限大的输入阻抗，这实际上是不可能的， 因此压电式传感器不适宜静态测量。动态测量时，压电材料变化快、漏电量相对较小，故适用于动态测量。 当压电器件中的压电晶体承受被测机械应力的作用时，在它的两个极面上出现极性相反但电量相等的电荷，实际上是一个电荷发生器，又是一个电容器。 实际应用中为了增大输出值，压电传感器往往用两个或两个