超精密车削刀具偏置校正方法的研究.pdfVIP

2012年 8月 机床与液压 Aug．2012 第40卷 第 15期 MACHINETOOL HYDRAULICS Vo1．40No．15 DOI：10．3969／j．issn．1001—3881．2012．15．001 超精密车削刀具偏置校正方法的研究 王毅，佘景池 (苏州大学现代光学技术研究所，江苏苏州 215006) 摘要 ：刀具偏置的校正是超精密车削的首要任务 ，对提高超精密车削效率及精度具有非常重要的意义。传统的刀具偏 置校正方法由于缺乏理论指导，存在校正效率低、精度低的缺点，即使利用国外进口软件进行辅助校正，也存在一些问 题。对超精密车削中金刚石刀具偏置造成的车削误差展开理论分析，在理论分析的基础上，给出提高刀具偏置校正精度及 效率的原则，提出一种新的刀具偏置校正方法——泰曼格林干涉仪在线检测法 ，并用实验证明其准确性。 关键词：超精密车削；刀具偏置 ；误差校正 中图分类号：TQ320．66+7 文献标识码 ：A 文章编号：1001—3881(2012)l5—001—6 ResearchonCorrectionMethodofToolDecentration inUltraPrecision Cutting WANGYi．YUJingchi (InstituteofModem OpticalTechnology，SoochowUniversity，SuzhouJiangsu215006，China) Abstract：Correctionoftooldecentratonisthekeytaskandmakingimportantsignificancefortheprecisionandefficiencyofultra precisioncutting．Forlackingoftheoreticalinstruction，efficiencyandaccuracyofthetraditional methodoftoolpositioncorrectionare nothigh，evenusingimportedsoftwraetohelpcorrection，someproblemsstillexist．Thecuttingerrorscausedbythepositionofdia— mondtoolwereanalyzedtheoretically．Basedonthetheoreticalanalysis，theprincipleofrenhancingtheaccuracyandefficiencyofcot— rectionwasgiven．A newtoolpositioncorrectionmethod，Twyman—Greeninterferometeronlinetestmethod，wasputforward．Itsvera— cityisverifiedbyapractical experiment． Keywords：Ultraprecisioncutting；Tooldecentration；Errorcorrection 超精密车削金刚石刀具的偏置主要包括刀具位置 刀具偏置校正即调整刀具位置使其所处的加工坐 的水平偏置与垂直偏置，刀具水平偏置即车削加工的 标系与主轴旋转坐标系保持一致 。实验证明：如果 坐标系原点与主轴旋转中心在水平方 向有偏差 (水 有偏差 ，将对车削零件的质量产生影响，尤其对一些 平方向为进给方向)；刀具垂直偏置即车削加工的坐 大相对孔径的车削零件 ，由于边缘斜率大，即使是 标系原点与主轴旋转中心在垂直方向有偏差。刀具垂 微米级 的刀具偏置，也将造成较大 的车削误差。所 直偏置与水平偏置及对加工 的影响如图1所示， 以，刀具偏置的校正是超精密车削的首要任务，对提 平面为垂直于主轴的平面，刀具的坐标原点与主轴的