预对准机与机械手相对坐标系标定.pdfVIP

第7期 机械设计与制造 2013年 7月 Machinery Design Manufacture 185 预对准机与机械手相对坐标系标定 李学威，冯亚磊，张 鹏，栾显晔，张金果 (沈阳新松机器人 自动化股份有限公司，辽宁 沈阳 110168) 摘 要：在对预对准机建模仿真的基础上 ，根据晶圆预对准的误差精度分析结果，利用误差转化的方法将预对准机 自 身误差转化成预对准机与机械手相对坐标系误差，从而实现预对准机 自身与相对坐标系的综合标定。针对预对准机与 机械手相对坐标系的标定提 出了多种方法，并选取了适用于实际情况的方法进行 了标定实验，验证了方法的有效性。 这种综合标定方法弥补 了现有实验条件的不足，避免了对不易标定参数的直接标定，简化 了标定过程，提高了设备初 始安装与调试的效率。 关键词：晶圆预对准机；晶圆传输机器人；建模仿真；标定方法；相对坐标系；误差补偿 中图分类号：TH16 文献标识码 ：A 文章编号：