基于FUZZY理论的蓝宝石超精密研磨参数优化方法.pdfVIP

基于FUZZY理论的篮宝眉超精塞研磨参数优丫匕方法 口王笑- 口鲁聪达2 1．浙江师范大学行知学院 浙江金华321014 2．浙江工业大学机械制造及自动化省部共建教育部重点实验室杭州310014 摘要：运用模糊理论探求蓝宝石晶圆研磨工艺参数与表面质量参数间的关系，获得优化参数以提高蓝宝石的超精 密研磨加工效率和较高的表面质量。对蓝宝石的研磨工艺参数构建了三角形模糊逻辑模型，筛选出2组研磨优化参数组。 通过实验结果表明，模糊算法获得的优化参数能提高蓝宝石的加工效率，改善研磨加工的表面质量。 关键词：蓝宝石研磨参数隶属函数模糊优化 中图分类号：TG580．68 文献标识码：A 文章编号：1000—4998(2011)02-0020-03 Rule 1965年美国著名的控制论专家、California大学的1．IF去除率低，THEN转速调到很高； L．A．Zadeh教授提出了“模糊集合”的概念，给出了模糊 Rule2．IF去除率低，THEN转速调到高； 性现象定量描述和分析运算的方法…，从而诞生了模 Rule3．IF去除率中。THEN转速调到中； 糊数学。他提出以字或句为值语言变量和一种不十分 Rule4．IF去除率高，THEN转速调到低； 精确的近似推理，使得信息内容和意义的传输与逻辑 Rule5．IF去除率高．THEN转速调到很低。 加工成为一种可能。经过30年的发展，模糊数学在图 1．3 输入与输出变量的模糊隶属函数 像识别、语言处理、自动控制、故障诊断、人工智能以及 本文采用j角形隶属函数来描述模糊集合，图2 医学、生物学等学科领域中获得了广泛的应用，解决了 中纵轴表示隶属度值取区间[O，1]中的任一值，O表示 许多不能用精确问题描述的技术难题。蓝宝石作为优 参数的隶属度值最小。数值越大表示参数的隶属度值 良的衬底和窗口材料．加下质量要求非常高，其加工参 越大。横轴表示所取参数区域的等份划分，划分的等份 数对质量参数的影响度和参数值之间存在一定的模糊 数越多结果越精确。 性。因此．根据参数之间的内在关系，利用模糊数学的 在去除率隶属函数图中。横轴表示去除率参数的 规则和逻辑运算可以更快、更方便地寻找出这些联系。 域值被划分为4等份，0表示去除率低，隶属度值为1； 本文参考K．Hashmi[2。5 model，对蓝4表示去除率高，其隶属度值也为l；等分点l隶属于 3等所提出的fuzzy 宝石的研磨工艺参数构建了模糊逻辑模型，求出各参 去除率低的隶属度值为0．5．隶属于去除率中的隶属度 数的影响力因素，从而得出优化工艺参数组合。 值也为0．5。最后求得模糊集的值有5个。表1表示了 各参数的值域划分。表2和表3分别表示输入变量去 1 工艺参数的模糊优化(FUZZY) 除率和输出变量转速的隶属度分布。 1．1 模糊集合 首先．选定4个主要工艺参数为输出变量：负载 ，很高 P、研磨盘转速Ⅳ、研磨颗粒粒径形和研磨液浓度y，2 个主要加工质量参数定义为输入变量：去除率尺和粗 糙度r。根据经验设定每组输入、输出变量的模糊集 ＼得 合，模糊语言变量划分越细，模糊解就越精确。以去除 O鞑utput《 率一转速这一对模糊关系为例，其模糊集如图l所示。