基于位移空间误差补偿提高芯片划片精度的方法研究.pdfVIP

基于位移空间误差补偿提吉同-_，：|卜片划片精度的方法研究 口 张 昕 上海 电气机床成套工程有限公司 上海 200041 摘 要 ：以 IC划片机数控轴位移空间误差的分析为基础 ，采用激光干涉仪测量小步距直线位移精度 ．并应用4线分 步体对角线法测量空间位移误差，进而提 出了双向小步距直线位移与空间误差补偿方法。将该补偿方法应用于划片机 ．划 片步距精度和切割深度的控制精度 能提高50％以上。 关键词 ：IC芯片 划片机 数控轴位移误差 4线分步体对角线测量法 误差补偿 中图分类号：TH161．21；TG659 文献标识码：A 文章编号：1000—4998(2014)07—0073—03 IC芯片 划片机 是 高精 度数 控加 工设 备 ，其结 构如 差 ，实 际 到达位 置 在 PI。实 际位 移误 差 为 PP 是一个 空 图 1所示 。以普 通级 精度 6时机为 例 ，要 求划 片 步距精 间矢 量 ，即轴 的位 移误差 不 仅存 在 于 自身运 动 方 向上 ． 度 ≤ 3I,zm．切 割 深 还存 在 于与之 垂直 的其 它两 个方 向上 ．其关 系 为 ： 度 误 差 ≤3 Ixm．划 e()=e(y)lf+ey()五+ez(y)ll： (1) 片加 工 精 度 主 要 是 式 中：(y)是 位 移 空 间误 差 矢 量 ；e(y)、ey(y)、ez(y)是 e 由各 轴 系位 置 精 度 ()，)在 、y、Z方 向 的投影 ；u 一 、U：分别 为 、l，、Z方 决 定 。 为保 证 各 轴 向的单位 矢量 。 运 动 位 置 精 度 ．设 e(Y)包 含 】，轴移 动 时所 形 成 的所 有 误 差 分 量 (1 备 在 制 造 过 程 中 ． 个 直线 位 移 误差 ，1个水 平 直 线 度误 差 ，1个 垂 直 直 线 必 须 要 求 相 关 部 件 度误 差 ，3个 转角 误差 )。同样 ，推 广 到 、Z轴 移动 带来 制 造与 整 机装 配 精度 符 合规 定 要求 ，同 时应 用 数 控补 的位 移误 差 分量 ，可得 到 、Z轴 位移 误 差 矢量 e()、e 偿技 术 ，这 是提 高 和改 善设 备 工作精 度 的必 要措 施 ，尤 ()表 达 式 ： 其在 维护 设备 加工 精度 上为 首选 手段 。 e()=e()比+ey() +ez()H： (2) e()=e()r卜e()lfy+e()z (3) 1 数控轴位移误差分析 2 数控轴位移误差测量 如 图 2所示 ，考 察 从 Po(0，0，0)点 沿 1，轴 方 向移 动 Y距 离 ，理 想 终点是 (0，’，，0)，但 由于存 在 位 移误 从上 述误 差分 析可 知 ．数 控轴 位 移误 差是 空 间矢 量 ，每 个 轴位 移 误 差 包含 6项 几何 误 差 ，如 图 3所示 。 另 外有 3个 、】，、z坐 标 间 的垂 直 度 误 差 ，3个 轴共 有 21项几 何 误差