多微通道式气体静压节流器的设计与分析.pdfVIP

呼 、 、t t ■ ● 第 11期 机械设计与制造 ．f信息技术 。 2012年 11月 ， ● 、， ， L- Machinery Design Manufacture 183 文章编号：1001—3997(2012)11-0183—03 多微通道式气体静压节流器的设计与分析 木 张 雯 赵 飞 李东升 (中国计量学院，杭州 310018) DesignandAnalysisoftheMulti—MicrochanneIAerostaticRestrictor ZHANGW en，ZHAOFei，LIDong-sheng (ChinaJiliangUniversity，Hangzhou310018，China) 一 十 斤 一 一 十 一 十 一 十 十 巾 +4 一 十 十4一 十 十4 一 十4 十4 十 十 1 十 一 十 § 一 十 斤 十 、 ’ 十 十 遣一 十 § 十 J J 、 十 摘【 要】节流器是气体静压系统的关键零部件之一。设计并加工了一种止推用多微通道式气体 静压节流器，利用电容式测微基本原理对其气膜厚度进行测量。建立了该节流器电容值一气膜厚度的数 学模型，计算了特定气膜厚度值时的电容值，利用电容测量仪及电感测微测头对外径80mm的多微通 道式气体静压节流器产生的气膜厚度进行了测量，最终对实验误差进行处理分析。实验结果表明，理论 值与实测数据之间误差小于 13％，证明了数学模型的正确性，也反映了电容式测微方法测量气体静压 系统气膜厚度的有效性。 关键词：气体静压节流器；气膜厚度；气膜刚度；电容式测微方法 A【bstract】RestrictorsaleonzeofcoFepartsinaerostaticsystems．Aspecialmuhi-microchanneloerow staticrestrictorisdesignedanddeveloped,andtheairfilmthicknessismeasuredbythecapacitive，nPn— suringmethod．Themathematicalmodelofcpaacitancenadairfilmthicknesscrariedout，cpaacitnacesof specfiicairfilmthicknesscalculated，airfilmthicknessofthemulti-microchannelaerostaticrestrictorwith theoveralldiameterme asured,anderrorsourcesprocessedandnaalyzed．Resuhsillustratethaterrorsbe- tweenthetheoretical calculationsna dtheexperime ntal dataorelessthan 13％，whichprovesthecorrect- hessofthemathematicalmodelaswellastheeffectivenessofthecpaacitivemeasuringmethodpaP ngfor theairfilmthicknessmeasurementoftheaerostaticsystems． KeyW ords：AerostaticRestrictor；Air-Film Thickness；Air-Film Stiffness；CapacitiveM easuring M ethod 中图分类号：TH16 文献标识码 ：A 1引言 所带来气膜厚度误差不会小于5m，与目前的静压系统的气膜厚 度值量级相当。因此，亟需一