SEM扫描电镜范例.ppt

* * 分析测试中心 4、扫描电子显微镜的基本功能 扫描电镜 电子枪； 透镜系统； 样品室； 扫描系统 真空系统组成 电子光学系统： 初级束要求：束斑尽可能小 ； 电流尽可能大 取折衷 电子枪 提供电子源对样品进行照明 两种电子源: 热源 钨灯丝 六硼化镧晶体(LaB6) 场发射源(FEG) 冷场发射：310取向的W单晶针尖 热场发射：100取向W单晶针尖，表面有一层氧化锆 * * 分析测试中心 热源电子枪 * * 分析测试中心 场发射枪 场发射针尖 * * 分析测试中心 Characteristics of the three sources operating at 100kV * * 分析测试中心 Beam Source Hair-pin W LaB6 Schottky FEG Cold FEG Brightness (Q/cm2sr) 105 106 108 109 Energy Spread (eV) 2.3 1.5 0.6-0.8 0.3-0.5 Work Function (eV) 4.5 2.7 2.6 4.3 Heating Temp. (K) 2,800 1,800 1,600 300 Vacuum (Pa) 10-3 10-5 10-7 10-8 Life time (hr) 200 1000 2000 2000 Diameter of Crossover (nm) 20,000 5,000 20 5 Emission Current (mA) 80 50 100 10 Current Density (A/cm2) 3 20 5×104 5×103 Coherence bad moderate good excellent * /microscopy/path2.html Image Formation in SEM beam e- A A Detector 10cm 10cm M= C/x * * 分析测试中心 * * 分析测试中心 扫描电子显微镜的应用 材料表面形貌观察 断口观察 剖面观察 生物表面观察 元素分布定性分析 * * 分析测试中心 EBSD EDS WDS In lens EsB * * 分析测试中心 * * 分析测试中心 * * 分析测试中心 断面分析 * * 分析测试中心 EDS * * 分析测试中心 GB/T 21636-2008 (ISO 23833:2006) 微束分析电子探针显微分析术语 能谱仪EDS Energy Dispersive Spectrometer 能谱法EDX Energy Dispersive X-ray Spectrometry 电制冷 SDD探头 液氮制冷 Si(Li)探头 * * 分析测试中心 帕尔贴效应-Peltier Effect 热电偶通入直流电流后，因直流电通入的方向不同，将在电偶结点处产生吸热和放热现象 Comparison of Electron microscope with optical microscope Electron microscope Optical microscope Illumination source electron Visible light Medium Vacuum air Wavelength 0.0589(20kV)~0.00687(1MV) 7600(visible light)~2000(UV) Lens magnetic glass Magnification 1,000,000-1,500,000x ~1000x Focus Electromagnetic control, computer control Mechanical operation Contrast mass-thickness、diffraction、phase、Z-contrast Absorption、Reflection Resolution Point 1-3?，line 0.5-2? 2000 (visible light), 1000 (UV) Sample preparation complex simple * * 分析测试中心 * * 分析测试中心 2、电子与固体的相互作用及原理 Secondary Electrons (SE) Growthstep BaTiO3 5?m SE image Primary * * 分析测试中心 Backscattered Electrons (BSE) Primary * * 分析测试中心 * Characteristic X-ray