薄膜的分类.ppt

* 薄膜的分类 装饰膜、包装膜 广泛用于灯具、玩具及汽车等交通运输工具、家用电气用具、钟表、工艺美术品、“金”线、“银”线、日用小商品等的铝膜、黄铜膜、不锈钢膜和仿金TiN膜与黑色TiC膜。 用于香烟包装的镀铝纸；用于食品、糖果、茶叶、咖啡、药品、化妆品等包装的镀铝涤纶薄膜；用于取代电镀或热涂Sn钢带的真空镀铝钢带等。 * 薄膜材料的特殊性 同固体材料相比，由于薄膜材料厚度很薄，很容易产生尺寸效应，就是说薄膜材料的物性会受到薄膜厚度的影响； 由于薄膜材料的表面积同体积相比很大，所有表面效应很显著，表面能、表面态、表面散射和表面干涉对其物性影响也很大； 在薄膜材料中还包含有大量的表面晶粒间界和缺陷，对电子输运性能也影响较大； 由于薄膜对是在某种基片上生成的，因为就会出现薄膜与几片之间的粘附性和附着力的问题，以及内应力的问题。 * 薄膜材料的特殊性 表面能级 表面能级指在固体的表面，原子周期排列的连续性发生中断。在这种情况下，电子波函数的周期性当然也要受到影响，把表面考虑在内的电子波函数已由塔姆在1932年进行了计算，得到了电子表面能级。 像薄膜这种表面面积很大的固体，表面能级将会对膜内电子输运状况有很大的影响，尤其是对薄膜半导体表面电导和场效应产生很大的影响，从而影响半导体器件性能。 * 薄膜材料的特殊性 薄膜和基片的粘附性 薄膜的一个面附着在基片上并受到约束作用，因此薄膜内容