MEMS产业发展现状及应用前景剖析.pptx

MEMS发展现状  及其应用前景;一、MEMS定义概述;与传统机械系统相比，MEMS系统具备以下优势： ?①微型化和集成化：几何尺寸小，易于集成。采用微加工技术可制造出微米尺寸的传感和敏感元件，并形成二维或三维的传感器阵列，再加上一体化集成的大规模集成电路，最终器件尺寸一般为毫米级。 ?;②低能耗和低成本：采用一体化技术，能耗大大降低；并由于采用硅微加工技术和半导体集成电路工艺，易于实现规模化生产，成本低。? ③高精度和长寿命：由于采用集成化形式，传感器性能均匀，各元件间配置协调，匹配良好，不需校正调整，提高了可靠性。 ? ④动态性好：微型化、质量小、响应速度快、固有频率高，具有优异动态特性。 ;二、MEMS的历史和发展现状;时间;2.2 MEMS的发展现状; 二）法国： 在市场运作方面，法国与美国市场保持紧密协作，瞄准美国航天与军用市场，并以此为立足点向民用产品、汽车和新领域拓展。 2013年技联国际会议上，法国国家计量与测试实验室推出首项MEMS输出精确测量技术，它将有助于全球MEMS制造商提高产品性能开发、开发新功能、降低大规模生产的能源消耗，影响市场对小型化的需求和提高可靠性。 三）德国： MEMS在德国国内重点领域是汽车，其次是化学设备、半导体。 德国的卡尔斯鲁研究中心在1987年提出了LIGA工艺而闻名于世，该技术采用X射线光刻技术，通过电铸成型和注塑工艺，形成深层微结构的方法。;军用MEMS;业省推动?“BEANS项目”和“梦幻芯片开发项目”。BEANS计划在2008～2012的5年内以约100亿日元的预算，将生物科技和纳米功能融入MEMS技术。目前，日本各地已有MEMS厂商100多家，以Olympus、Canon?、Fujikura?和器件制造如MEW、Oki等为代表。日本也拥有不少设计公司，主要来源于RD?机构和各高校。 六）亚洲周边国家：? 韩国、中国和新加坡等地，政府从技术战略决策层面大力发展MEMS。韩国每年投入约2?亿美元研发费用，有6?个实验室和10?家公司；我国台湾每年投入MEMS?总费用为6.4亿元新台币。越南也已把MEMS看作未来的商机，密切关注它的发展。;? 我国的MEMS研究始于1989年，“八五”、“九五”期间国家总投入约为1.5亿元；“十五”正式开始将MEMS列入863计划的重大专项，总预算经费达3亿元以上。1995年国家科技部开始实施“微电子机械系统项目”攀登计划(1995～1999年)；1999年实行“集成微光机电系统研究”项目。内地MEMS的研发单位已达50多家，在表面微机械、体硅MEMS以及非硅MEMS工艺有很强的竞争实力，科研水平能够进入国际前十名。? 国内的MEMS理论研究与国外水平相差不大，其主要差距在于产业化推进能力上。国外发展 MEMS已有30多年历史，大型企业年产能力基本在100万～1000万只，中等规模企业年生产能力可达为10～100万只；而相比之下，我国企业的MEMS器件生产规模却很少超过10万件。国外已进入了MEMS微系统集成的开发与应用，而国内仍处于分立的驱动和传感器件的研究阶段。? 国内从事MEMS研发的单位包括中电集团电子第十三所、二十四所、四十九所、北京大学、东南大学、上海交大等重点院所；重点围绕医疗与健康、环境监测和重要行业等需要，提升我国MEMS?整体水平，在“十一五”期间推动国内微纳产业的形成。 ;江苏省高性能硅MEMS工程技术研究中心在苏成立;存在的主要问题有： （1）科技创新差，核心制造技术严重滞后于国外，拥有自主知识产权的产品少，品种不全，产品技术水平与国外相差15年左右。? （2）投资强度偏低，科研设备和生产工艺装备落后，成果水平低，产品质量差。? （3）科技与生产脱节，影响科研成果的转化，综合实力较低，产业发展后劲不足。 未来，我国将形成对MEMS传感器的巨大市场需求： ①硅压力传感器及变送器年需求量500万只以上，主要应用于石油、化工、电力工业，钢铁、电器行业及工业测量与控制等领域； ②集成压力传感器年需求量200万只以上，主要应用于汽车、大型中央空调器以及医疗器械等行业；③CH4气体传感器市场年需求在700-850万套，主要应用于能源工业、环境检测、工业过程控制、工作生产现场及环保领域等。目前国内市场MEMS传感器的年需求量在2000万只以上，市场潜力巨大，需求年均增长约20%～30%，成长性良好。 ④在一些无法进口的高端和特种应用领域，例如航天和油田用高温、高压MEMS传感器领域，中国有一定的技术积累，有适合于发展MEMS产业的良好基础。面对这片巨