原子级加工技术的研究.pdfVIP

工 艺 ·装备 《电加工与模具》2012年第4期 原子级加工技术的研究 郑 炜 ，刘晋春 (1．厦门大学物理与机电工程学院，福建厦门 361005； 2．哈尔滨工业大学特种加工及机电控制研究所 ，黑龙江哈尔滨 150001) 摘要 ：分析 了扫描隧道显微镜的两种工作模 式，即 “恒 高度模式”和 “恒 电流模式”，并 以扫描探 针显微镜在 实际加工中的成功应用为例 ，说明原子级加工技术在理论和实践上是可行的。 关键词 ：原子级加工；特种加工；纳米技术 中图分类号：TG66 文献标识码 ：A 文章编号 ：1009—279X(2012)04—0045—04 ResearchesonTechnologyofAtom icNanofabrication ZhengW ei，LiuJinchun (1．XiamenUniversity，Xiamen361005，China； 2．HarbinInstituteofTechnology，Harbin150001，China) Abstract：Twokindsofoperationmodeofscanningtunnelingmicroscope(STM)areanalyzed，i． e．．constant．heightmodeand constant—currentmodeforSTM ．Successfulapplicationsofpractical nanofabricationforscanningprobemicroscopearetakenforexamples，show thatitisfeasiblefornano— fabricationtechnologyinboththeoryandpractice． Keywords：nanofabrication；nontraditionalmachining；nanotechnology 1 扫描隧道显微镜成像原理 扫描隧道显微镜 (ScanningTunnelingMicro— scope，STM)是 所有 扫描 探针 显微 镜 (Scanning ProbeMicroscope，SPM)系列 的最早期产 品，STM 是首次产生原子级分辨率的表面真三维图像仪器。 它使用一个尖锐 的导电探针，在探针针尖和样品之 间加上一个偏压。当探针针尖和样 品相距 约 10A 时，电子从样品开始穿过 10A量级间隙的 “隧道”后 到达针尖 ，其运动速度取决于偏压信号 的大小(图 图 1 STM 探针针尖与样 品相互作用下，意图 1)。隧道电流随着针尖和样品间隙大小的变化而变 反映表面形貌 ]。为了鉴别表面结构的真实性 ，同 化 ，变化 的电流信号用于产生 STM 图像。为了产 时获得表面或异物的功 函数 ，通过调制技术 ，即 生隧道电流，样品和针尖必须是导体或半导体，这和 以一适当的频率强迫 S在小范围 ／xS内做周期性变 扫描力显微镜 (AFM)不同，STM 不能使绝缘体产 化 。此时，调制信号 将直接与功函数 有关 ，即： 生 STM 成像…。 I～m=A(1nI)／as~ (1) STM所具有的不同隧道电流 值或相同的 值给出不同的针尖与样品间隙S值 ，都不能确切地 2 扫描隧道显微镜工作模式