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微机电系统在计量领域的应用
学兔兔
《仪器仪表与分析监测》2013年第3期
微机电系统在计量领域的应用
MicroElectroMechanicalSystemsanditsApplicationsinMetrology
王有忠
(中国能源建设集团江苏省电力建设第三工程公司,江苏镇江 212003)
[摘要] 介绍了MEMS技术及其发展现状,介绍了MEMS技术在计量仪器中的应用及发展前景。
[关键字] 微机 电系统;计量
[中图分类号]TB921 [文献标识码]A
对于微机械 电子系统的定义,还没有一个统
引言
一 的确切描述,各个 国家基于各 自不同的发展背
MEMS技术的出现使得开发小型化、低成本、 景和认识上的侧重点,提出了几种不同的定义。
高安全性和高可靠性的计量仪器成为可能。微型 在欧洲,这种高度集成的微型多功能系统被
机械 电子 系统 (MEMS ,Microelectromechanical 称为 “微系统 (Microsystems)”,它偏重于系统功
systems)是机械结构和电子设备在微米量级的集成 能方面的描述,是 MEMS的重要发展方 向;美 国
化系统,它具有体积小、重量轻,适合大批量生 则称其为微型机械 电子系统 (MEMS),更偏重于
产,能够实现机、电、热、光等多物理场器件组 加工手段和尺度的规定;日本使用 “微 型机械
合等优点,非常适合计量系统的大批量生产和应 (Micromachine)”,一般指在不大于 1em 体积 内
用,将给计量技术的发展带来巨大的变革。现在, 制造的复杂的机器。
MEMS已经拓展成为一种 “使能技术 (Enabling 实际上,这些定义指的是同一个研究领域。
technology)”,这种技术可 以将多种机、电、热、 可对其描述如下:微机电系统 (MEMS)可 以从三
光等器件集成于一体,不但能感知和处理信息, 个方面来界定,在功能上,是集成了传感器、信
还能通过机械机构的动作对系统进行控制,同时 息处理电路和执行器的微型系统,具有信息感知、
使系统结构体积缩小,重量降低,测量功能扩展, 信息处理和对外界进行操作与控制等功能;在加
将促使计量技术产生一个质的飞跃 。因此,MEMS 工方法上,主要采用与集成电路兼容的加工技术,
技术在计量仪器 中的应用受到了世界各个主要发 可以进行批量制造;在尺度范围上,MEMS器件或
达国家的广泛关注,得到了高度重视。 微系统的尺寸一般在亚微米到几个毫米量级。
MEMS的历史可 以追溯到二十世纪中期。1959
1 微机电系统的发展现状
年,美国物理学家、诺贝尔奖获得者理查德 ·费
微型机械电子系统是指由微传感器、微执行器、 玛 (R.Feynmen)提出了微机械制造和微操作的
信号处理和控制集成电路以及微型能源等组成的, 大胆构想。随后,随着半导体技术的飞速发展,
高度集成化的,具有信息获取、信息处理以及信 许多机构开始对这种技术进行研究。1962年,世
息输 出和控制功能的微型系统。它是在集成 电路 界上第一个真正意义上的MEMS器件——微型硅
(IC)加工技术基础上发展起来的新兴研究领域, 压力传感器 由Honey
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