扩散硅压力变送器的温度补偿方法.pdfVIP

第23卷 第4期 仪器仪表用户 EIC Vo1．23 2016年4月 NSTRUMEN 0N 2016 No．4 扩散硅压力变送器的温度补偿方法 孟丹丹 ，陈兵 ，秦文。 (1．中环天仪股份有限公司，天津 300384；2．天津工业 自动化仪表研究所有限公司，天津 300060 3．河北工业大学 控制科学与工程学院，天津 300130) 摘 要 ：扩散硅压力变送器具有精度高、稳定性好、响应速度快等优点，但容易受温度影响，导致零点漂移和灵敏度 漂移。因此需对扩散硅压力变送器进行温度补偿。本文提出了一种软件补偿方法，首先建立扩散硅压力变送器与温度 的高阶温度补偿模型，工控机利用最小二乘回归算法 (PLSR)求出压力变送器的温度补偿系数，通过HART通讦峙巴温 度补偿系数发送到压力变送器中，压力变送器通过高阶温度补偿模型就可实 见对扩散硅压力变送器的温度补偿。 关键词 ：扩散硅压力传感器；温度补偿模型；最小二乘回归法 中图分类号 ：TH812 文献标识码：A DOI：10．3969／j．issn．1671—1041．2016．04．001 文章编号：1671-1041(2016)04-0005-03 CompensationTechnologyofDiffusedSiliconDigitalPressureTransducer MengDandan，ChenBing2 , QinWen 1．ZhonghuanTigCo．，Ltd，Tianjin，300384，China；2．TiaJ1jinInstituteforProcessAutomationInstrumentation Co．，Ltd，300060，China；3．HebeiUniversityofTechnology，Tianjin，300130，China) Abstract：Diffusiblesiliconpressuretransducerhasadvantagesofhighmeasureprecisionandfastdynamicresponse．The performancesofthetransducercanbeaffectedbytemperature．itcausedtheproblem of thezerotemperaturedriftandsensitivity drift．Sothetransducerneedstobecompensatedbytemperature．Thesoftcompensationsolutionandcompensationalgorithm aleproposed，Firstestablishthetemperaturecompensationmodelofthediffusiblesiliconpressuretransducer，andtheindustry computerusingleastsquaresregressionmethod(PLSR)tocalculatesthetemperaturecompensationcoefficient，andsendthe compensationcoefficienttothetransducerbyHARTcommunication，thenthetemperaturecompensationofthediffusiblesilicon pressuretransducerisrealizedbythehighordertemperaturecompensationmode1． Keywords：diffusiblesiliconpressuretransducer；temp