基于模糊逻辑决策的Interbay系统晶圆卡运输成本模型.pdfVIP

第 11期 组 合 机 床 与 自动 化 加 工 技 术 N0．11 2012年 l1月 M odularM achineTool Autom aticM anufacturingTechnique NOV．2012 文章编号 ：1001—2265(2012)11—0093—04 基于模糊逻辑决策的 Interbay系统 晶圆卡运输成本模型 吴立辉 ，颜 丙生 ，张 洁 (1．河南工业大学 机 电工程学院，郑州 450007；2．上海交通大学 机械 与动力工程 学院，上海 200240) 摘要 ：为了提 高晶圆制造 Interbay物料运输 系统的多 目标调度性能，提 出了一种基于模糊逻辑决策的 晶圆卡运输成本模型。基于 300mm 晶圆制造系统数据进行仿真 实验并与 固定权重的晶圆卡运输成 本模型进行 比较 ，结果表 明采用该模型能获得更优的 Interbay系统 多 目标调度性能，表 明论文提 出的 基 于模糊逻辑决策的晶圆卡运输成本模型是有效的。 关键词 ：Interbay物料运输 系统 ；晶圆卡；运输成本模型；模糊逻辑 中图分类号 ：TH166 文献标识码 ：A A FuzzyLogicDecision-makingBased on W aferLot’STransp0rtatiOn CostM odelfor theInterbayM aterialHandlingSystem WU Li．hui，YAN Bing—sheng ，ZHANG Jie (1．SchoolofMechanical ElectricalEngineering，Henan Univ．ofTechnology，Zhengzhou450007， China；2．SchoolofMechanicalEngineering，ShanghaiJiaotongUniv．，Shanghai200240，China) Abstract：To obtainbettercomplex scheduleperformancesofthe Interbaymaterialhandling system in 300mm semiconductormanufacturingsystems(SMSs)，afuzzylogicdecision-makingbasedwaferlot’S transportation costmodelfortheInterbay materialhandling system isproposed．W ith experimentaldata from anInterbay materialhandling system of300mm SMSs，theproposedfuzzylogicdecision—making basedwaferlot’Stransportation costmodeliscompared with the traditionalwafer lot’S transportation costmodelwithconstantweightcoeffi cients．Theresultsdemonstratethattheproposedwaferlot’Srtans- portation costmodelhasbetter comprehensive scheduleperformancesofthe Interbaymaterialhandling system andSMSsthanthetraditionalwaferlot’Stransportationcostmode1． Keywords：interbaymaterialhandlingsystem ；waferlot；transportationcostmodel；fuzzy logic 优化调度 的前提和基础 。目前 ，