基于电磁补偿天平的微纳力值标准装置的性能研究.pdfVIP

第28卷 第 12期 传 感 技 术 学 报 Vo1．28 No．12 2015年 12月 CHINESEJOURNALOFSENSORSANDACTUATORS Dec．2015 InvestigationonCharacteristicsofM icro-M anoNewtonForce StandardBasedonElectromagneticCompensationBalance HUgang ，JIANGjile，ZHANGZhimin，ZHANGrue (NationalInstituteofMetrology，Bejiing100029，China) Abstract：A micro．nanoNewtonforcestandardbasedonanelectromagneticcompensationbalancewasdeveloped． Thestandardweightswithhighgradesareusedtocalibratethebalance．Asaresult，therealizedforceofthemicro． nanoNewtonforcestandardiStracedtotheInternationalSystem ofUnits(SI)．Thestandarduncertaintyofforcemea． surementintherangeof500nN一500 ¨N isbetterthan0．7％．Theforcestandardisappliedtoaccuratetraceability forspringconstantofcantileversinAtomicForceMicroscope(AFM )andforceofsmallforoetransducers．Theposi— tionandpitchangelofthecantileversortransducerstobecalibratedareadjustedbyapositioningadjustmentsys— tem withmuhi-degreeof~eedom toimprovetheaccuracyofpositioning．SeveralAFM cantileverswithdifferent springconstantswerecalibratedusingthisstandard．Thestandarddeviationsofthemeasurementresultsarebetter than1．6％ ．meettherequirementsofrhighaccuracysmallforcemeasurement． Keywords：forcemetrology；micro--nanoNewtonforcestandard；electromagneticcompensationbalance；nano--position-- ingstage；canti1evers；f0rcetransducers EEACC-7130；7210X doi：lO．3969~．issn．1004-1699．2015．12．008 基于电磁补偿天平的微纳力值标准装置的性能研究 胡 刚 ，蒋继乐，张智敏，张 跃 (中国计量科学研究院，北京 100029) 摘 要：采用基于电磁补偿原理的精密天平，研制了一种微纳力值标准装置。通过高等级的标准砝码对天平进行校准，实现 标准装置力值的sI溯源，在 500nN～500IxN范围的力值测量标准不确定度小于0．7％。该装置用于对原子力显微镜 (AFM)微 悬臂弹性常数和微小力值传感器的力值提供准确的溯源。采用多 自由度位置调整系统调整被测微悬臂或传感器的位置及俯 仰角度，提高了定位准确度。对几种不同弹性常数的AFM微悬臂进行测量 ，测量结果的标准偏差小于 1．6％，满足高准确度微 小力值测量的要求。 关键词：力值计量；微纳力值标准装置；电磁补偿天平；纳米微动台；微悬臂；力传感器 中图分类号：TH71；TH823 文献标识码：A 文章编号：1004-1699(2015)12-1779