基于红外热效应的电容式气体传感器研究.pdfVIP

2011年 第 3O卷 第4期 传感器与微系统(TransducerandMicrosystemTechnologies) 31 基于红外热效应的电容式气体传感器研究 张正勇 ，杨地委 ， (1．中国科学院合肥物质科学研究院合肥智能机械研究所 ，安徽 合肥 230031； 2．中国科学技术大学 信息科学技术学院自动化系，安徽 合肥 230027； 3．安徽省仿生感知与先进机器人技术重点实验室，安徽 合肥 230031； 4．传感技术联合 国家重点实验室，安徽 合肥 230031) 摘 要：提出了一种利用气体吸收红外并产生热效应现象检测气体的方法，设计并制造了一种红外电容 式气体传感器。该气体传感器采用在密封气室中密封纯净的被测气体 ，利用被测气体吸收红外的热效应 并由此产生压力变化 ，该压力变化转换为弹性应变膜的应变致使平板电容器的电容变化，由于环境中被测 气体与密封气室中被测气体对红外的差分吸收，使得电容 的变化量与环境中被测气体的体积分数相关。 对甲烷气体的实验结果表明：其检测下限为 100×10一，分辨率为50×10一。 关键词 ：气体传感器 ；红外热效应；电容；红外差分吸收 中图分类号 ：TP212 文献标识码：A 文章编号 ：1000-9787(2011)04-0031--03 ~SttuuadyyOI-“capoaacciittiivveegaasssenns00rbbaasseedd 0n linnftrraared t—hqewmal1eet～lect ZHANG Zheng—yong ．YANG Di．wei (1．InstituteofIntelligentMachines，HefeiInstituteofPhysicalScience，ChineseAcademyofSciences，Hefei230031，China； 2．DepartmentofAutomation，SchoolofInformationScienceandTechnology， UniversityofScienceand Technoloyg ofChina，Hefei230027，China； 3．KeyLaboratoryofBiomimeticSensingand AdvancedRobotTechnology，Hefei230031，China； 4．UnitedNationalKeyLaboratory ofTransducerTechnoloyg ，Hefei230031，China) Abstract：A way ofgasdetection on the basisofgasinfrared absorption which producesthermaleffectsis presented．A kindofinfraredcapacitivegassensorshavebeendesignedandmanufactured．Thegassensorseals puretestgasinsealedchamber．Puretestgasabsorbsinfrareproducingthermaleffectswhich leadstopressure change．Thispressurechangetransfomr intoelasticfilm strainresultingin capacitancevariation．Asaresultof differenceabsorptionofinfraredbetweensealspuretestgasinsealedchamberandmixedtestgasinenvironment， thecapacitancevariationexpresstes