基于虚拟仪器技术的纳米时栅传感器实验研究.pdfVIP

2013年 第32卷 第l2期 传感器与微系统(TransducerandMicrosystemTechnologies) 61 基于虚拟仪器技术的纳米时栅传感器实验研究 凌 旭，王先全，冯济琴，蒲红吉 (重庆理工大学 机械检测技术与装备教育部工程研究中心 时栅传感及先进检测技术重庆市重点实验室，重庆 400054) 摘 要：为了实现制造成本低、抗干扰性强 、性能稳定的大量程、纳米精度位移测量，研究了一种基于交变 电场耦合的纳米时栅位移传感器。利用虚拟仪器开发平台LabVIEW软件和 PXI-5422任意波形发生器硬 件设备相结合，实现标准波形的频率、幅值、相位的设置等功能。实验得出：通过调节激励信号的幅值可以 避免安装位置的不同对纳米时栅精度的影响，调节相位可以提高其精度。虚拟仪器技术在纳米时栅实验 中的应用为激励信号性能的改进与提高提供了技术支持，在纳米时栅特性的研究中提供方便。 关键词：纳米测量；虚拟仪器；位移传感器；时栅 中图分类号 ：TP212 文献标识码：A 文章编号：1000-9787(2013)12-00．61_03 Experimentalresearch ofnanometertime-gratingsensor basedon virtualinstrumenttechnology LINGXu，WANGXian—quan，FENGJi-qin，PUHong-ji (EngineeringResearchCenterofMechanicalTestingTechnologyandEquipment， MinistyofEducation，ChongqingKeyLaboratoryofTime-GratingSensingandAdvancedTestingTechnoloyg ， ChongqingUniversityofTechnology，Chongqing400054，China) Abstract：Inordertorealizewide—rangedandnanoscaleprecisiondisplacementmeasurementwhichrequireslow costs，stronganti·interferencecapabilitiesandstableperformance，akindofnanometertime—gratingdisplacement sensorbasedonAC electricfieldcouplingisresearched．Functionslikethesettingsofthe~equency，amplitude andphase ofstandard waveform can be achieved by combining the LabVIEW software ofvirtualinstrument developmentplatform withthehardwareofPXI-5422arbitrarywaveform generator．Theexperimentconcludesthat phaseadjustmentvanimprovetheprecisionhtroughadjustingamplitudeofexcitationsignalwhichCna avoideffect ofdifferentinstallationsitesonprecisionofnanometertime—grating．Applicationofvirtualinsturmenttechnologyin experimentofnanometertime-grating givestechnologicalsupport toimprovementand progressoffunction of excitationsi