基于椭圆偏振光谱法的玻璃表面离子束改性.pdfVIP

, , , 第 卷 第 期 光 谱 学 与 光 谱 分 析 36 10 　 　　　　　　　　　　　 Vol.36 No.10 3388-3393 pp 年 月 , 2 0 1 6 1 0 　　　　　　　　　　　 　S ectrosco and S ectral Anal sis October 2016 　 p py p y 基于椭圆偏振光谱法的玻璃表面离子束改性分析 , 孙 瑶 汪 洪 　 　 , , , 中国建筑材料科学研究总院 国家玻璃深加工工程技术中心 绿色建筑材料国家重点实验室 , 太阳能与建筑节能玻璃材料加工技术北京市重点实验室 北京　100024 , , 摘 要 采用阳极层线性离子源解离氮气对玻璃表面进行刻蚀处理 研究表面改性后玻璃表面的变化 并 　 　 、 。 , , 分析离化电压对表面粗糙度 折射率以及光学厚度的影响 在此基础上 基于椭圆偏振光谱仪 通过对比不 , 、 、 同表面状态下的 光谱 讨论固定波长变化入射角的 光谱曲线特征与表面折射率 布儒斯特角 粗糙度以 Δ Δ 。 , , 及光学厚度之间的关系 结果表明 刻蚀后玻璃的布儒斯特角附近的 光谱曲线形状发生变化 突变向高角 Δ , 。 , , 度偏移 曲线下降斜率增大 通过建模并拟合分析发现 氮离子束轰击使玻璃表面产生光密介质层 表面折 , , , , , 。 射率增大 布儒斯特角增大 粗糙度降低 且随离化电压升高 折射率不变 而光密介质层厚度增加 由原 , 。 子力显微镜分析表面形貌 验证了离子束对玻璃表面的平整化作用 X 射线光电子能谱结果表明离子束使 , 。 , 玻璃表面发生选择性溅射 推断光密介质层的产生来自于离子束对玻璃表面的夯实作用 此外 推导并验证