无氟化学溶液法制备YBa2Cu3Oz超导薄膜.pdfVIP

, t:天氟化学濬祿法制备YBfeCu,.(X超导薄膜 07001 文章编号 ：1001-S 73 U 2 Q1.6) Q 7-OT00.1-0 4 无氟化学溶液法制备YBa2Cu3Oz超导薄膜 王 文 涛 S 王 振 \ 蒲 明 华 、 张 欣 1 ，雷 鸣 \ 王 明 江 、 赵 勇 L，2 (1.西南交通大学超导与新能源研究开发中心•材料先进科学技术教育部重点实验室•成都610031; 2.新甫威尔士大学材料科学，O ：程学陰，澳 大 利 亚 悉 尼 205:25 摘 要 ： 采用自主开发的无氟化学溶液沉积法在（001) 了石八^^单晶片上朝备了 Y B %_Cus 〇zT Y B CC. ))超导薄膜 研究了高温热处理过程中不同成相气氛和渗氧温度对YBCC ) 薄膜结构和性能的影响.。采用_ X 射线衍射仪对薄 膜进行了织构分析，通过扫描电镜和原子力显微镜观.察了薄膜的表西形.貌采用磁性能测试系统测量了薄膜的 超.导转变溫度和磁化曲线。.实猃结果表明，在干燥的热处理气.氛和4Q tT 渗氧.制备的Y B C 〇_薄膜具有更加优异 的性能。 关键词： Y B C O 薄膜；热处理；超导转变温度；临界电流密度 中图分类号： T __B33.;T R. M ;C)511 .3 文献标识码 ： A DOI ：10.3969/]. issn .10Ql-M 31.2Ol 6.07.001 可以研究气氛湿度对薄膜的外延成相和超导性能的影 0 引 言 响，此外，本文研究了渗氧过程中的热处理温度对 YBa 2 Cu3 a (YBCCW身f e 超导律儀导体即第二代 Y BC O 薄膜织构、微结构和超导性能的影响。研究表 高温超导（线）带材以其较高的临界电流密度和不可逆 明，•干燥的成相气氛和400 °C 的滲氧温度制备的YB - 场在电力、交通、军事、医学等方面具有潜在的应用前 C O 薄膜具有最佳的超导性能，文中分析了可能的原 景 。目前制备Y B C O 涂层导体的主要方法分为高 因。 真空的原位沉^积法和非真:空条件的异位沉积法。原位 1 实验方法 沉积法主要包括脉冲激光沉积（PLD 沪]、磁控溅射 (Magnetic sputterin ) M _和金爲有机物化学气翻沉积 采用自生开发的无氟高分子辅助化学溶液沉积法 (MOC VTOM 等•这类方法虽然已经可以在单晶基片 在 LaA 10s (LA 0 ) 单晶■基片上制备了 Y B C O 超导薄 和金属基带上沉积高性能的Y B C O 涂层导体,但需要 膜。将醋酸钇、醋酸钡和醋酸铜按钇：钡 ：铜 为 1 : 赛.禽真S 的条伴下制备.，成本禽.昂1不利于_?余层等体的 2 : 3 的化学i十暈比溶于一定浓度的丙酸溶液中，经过 大规模应用。异位沉积法主要包括_氣醋酸盐金属有 3 h搅拌获得透明的墨绿色溶液。再将适量的聚乙烯 机物沉积法（T F A -M ()D )[S]、乙酰亩酮盆法M 、二〗氯乙 醇缩丁醛fP V B )加人该前驱溶液中，善续搅拌邛_h ,将 酸盐法M 、硝 酸 盐 法 S 甲基乙酸盐法D:]等 ，这类 P V B 彻底溶解,最终形成均匀I I 定的涂健榕液 采甩 方法在非真空条件下制备，成本低廉，可精确控制原料 匀胶机将涂篇濟液徐覆:在I .AC ) 塞片上，加速时间为 的化学计量比，可以在任意形状的基带上沉积薄膜，有 3 s ，旋转速度2 000. 持续餘_=肘间为15 s .,旋转 助于推动YBCC )涂层导体的商业化应用.其中| 氟 速 度 为 5 0■ r f m ir u 将 旋 涂 获 得 的 讓 膜 在 1W ~ 醋酸盐金属有机物沉积法较为成熟•已可以在不同基