沉积时间对MPTS自组装膜摩擦学性质的影响.pdfVIP

2011年9月 润滑与密封 Sep．2011 第36卷 第9期 LUBRICAT10NENGINEERING Vo1．36No．9 DOI：10．3969／j．issn．0254—0150．2011．09．012 沉积时间对 MPTS自组装膜摩擦学性质的影响 周志丹 徐磊华 刘金龙 (中国矿业大学材料科学与工程 江苏徐州 221116) 摘要：利用分子 自组装技术在羟基化后的单晶硅硅片表面制备 (3一巯基丙基)三甲氧基硅烷 (MPTS) 自组装膜， 用x射线光电子能谱仪 (XPS)对薄膜的表面结构进行表征，用JGW一360a型接触角测量仪测量硅片表面的接触角，用 UMT一200型微观摩擦磨损实验机测量硅片的摩擦因数，探讨沉积时间对 自组装膜的摩擦学性能的影响。结果表明： MPTS自组装膜具有亲水疏水性能，其对水的接触角超过60。；硅片表面沉积MPTS可以大幅度降低硅片的摩擦因数，使 硅基片表面的摩擦因数由无膜时的0．6降至0．25左右，且具有很好的耐磨性；沉积时间对硅表面 自组装膜的摩擦学性 能影响较大，在本实验条件下，0．5h沉积时间所制备的MPTS—SAM硅片的耐磨性最佳，1h沉积时间制得的硅片表面最 为光滑。 关键词：MPTS；沉积时间；XPS；接触角；摩擦因数；自组装膜 中图分类号：0647．9 文献标识码 ：A 文章编号：0254—0150 (2011)9—051—4 TheEffectofSedimentaryTimeon Tribological PropertiesforSelf-assembledFilms ZhouZhidan XuLeihua LiuJinlong (SchoolofMaterialSciencesandEngineering，ChinaUniversityofMiningnadTechnology，XuzhouJiangsu221116，China) Abstract：Self-assembledmonolayer(SAM)of(3-Mercaptopropy1)trimethoxysilane(MPTS)wasfabricatedonsilicon surfacebymolecularself-assemblyprocess．ThesurfaceconfigurationofmonolayerwasanalyzedusingX—rayphotoelectron spectrometry，andthecontactanglewasestimatedbyJGW-36Datestsystem．Thetribologicalpropertiesoftheas—prepared thinfilmswereestimatedbyUMT-2．Th etestresultsshow thatMPTSSAM ishydrophobicandthewatercontactangleis morethan60。，andthemonolayerpreparedonsiliconsurfacecanreducethefrictioncoefficientandincreaseantiwera per- formanceofthesubstrate．Thesedimentary timeinfluencesthetribologicalproperties． Keywords：MPTS；sedimentary time；XPS；contactangle；frictioncoefficient；self-assembledfilms 提高微纳米机 电系统 (MOEMs／N0EMs)、生物 性基团的自组装分子有序膜，具有优异抗黏着性能和 微纳米系统以及存贮设备中的微纳米配件的可靠性是 良好润滑作用 。自组装单层膜 (SAM)是近 20 一 个研究焦点。在这些配件的滑动面上使用分子膜可 年