抛光机理及加工参数设定.ppt

同学们好！大家辛苦了！感谢大家本次配合、认真学习 2010.10.07 抛光机理及加工参数设定 目前中国光学研究最权威学府、最资深教授所出教材（浙江大学曹天宁教授毕生研究总结） 一、玻璃的本质 玻璃是由玻璃材料的熔体过冷所得的一种无定形物质，即为玻璃科学上称之为“过冷的液体”。由于粘度逐渐增加而呈现固体的外部特征。玻璃态材料没有熔点，只有一个Tg与Tf之间的温度范围，称之为玻璃的固化温度范围（图一），Tg为转化点，Tf为软化点。结构特性类似于液体 对玻璃、液体、气体和晶体的X射线散射试验，玻璃的散射曲线与液体类似，不同于固体（晶体）（图二）。 2 .玻璃的结构—20面体，科学家最新發现。 一直来存在二种最流行的学说！晶子说和不规则网络说。苏联学者A·A·列别捷夫（Лeбeдeв）于1921年提出晶子说，认为玻璃由无数“晶子”组成。晶子是带有点阵变形的有序排列区域（图三） 不规则网络说由荷兰学者查哈里阿生（Zachariasen）于1932年提出，在石英玻璃中是硅氧四面体[SiO4]，通过顶角连接的三度空间网络。其排列是无序的，钠玻璃就在四面体空隙中无序地分布着钠离子。 2008年在“自然——材料科学”（Nature—Material Science）科学家首次揭开玻璃结构的双重特性。英国布里斯托尔大学的帕特里克·罗亚尔实验证明：玻璃分子具有5个方面都对称的20面体结构，但不能结晶成固体，也不具备液体自由流动的特性。 利用这一发展，可以制造20面体金属，形成新型的“金属玻璃”材料，耐高压、高强度，是飞机机翼首选材料。 3.玻璃的生成体、中间体和网络外体 从分子结构来考察玻璃的结构，我国光学玻璃 专家干福熹院士对光学玻璃作了结构分析：SiO2、B2O3、P2O5作为玻璃的形成体形成了硅酸盐玻璃，硼酸盐玻璃和磷酸盐玻璃。[SiO4]是硅氧共价键连接，是玻璃的核心。 Na2O、K2O、PbO、BaO等都是网络外体，是离子键连接。连接力较差，有的氧化物容易被置换和水解析出，而Al2O3则是中间体，介于二者之间。 3. 玻璃的组成与特性的关系 最常用最普遍是硅酸盐玻璃。下面硅酸盐玻璃中均以SiO2为主要成分，B2O3与Al2O3的加入大多为高硼硅酸盐玻璃，使之大多形成耐热的低膨胀系数玻璃，与常用光学玻璃K9、光学石英玻璃作一个比对（表一）。 从表一可以看出，除了贵重的石英玻璃有很低的热膨胀系数外，QK2、G.G-17与Pyrex玻璃的组分与热膨胀系数基本一致。K4与硬质玻璃近似。而K9则不属高硼硅酸盐玻璃，而属于典型的硅酸盐玻璃。它的热膨胀系数比Pyrex玻璃高一倍。 二、抛光机理 玻璃的抛光是在玻璃完成上道工序研磨或磨削以后的凹凸层表面上进行抛光工作。抛光以后应达到如下要求： ①去除凹凸层，使表面光亮，达到一定的粗糙度级 别（RZ0.025 ） ②对于光学表面，还有面形精度（N和?N或Pv值） ③大部分抛光表面要求没有划痕、没有麻点，光学 表面要达到光学表面疵病级别B 抛光的机理有纯机械说、化学学说、流变学说和机械化学说（Mechanial Chemical Polishing），我认为后一个学说比较全面地揭示了玻璃抛光的机理，提出这个学说的是苏联院士格列宾雪柯夫（ГpeбeHЩeKOB），他认为抛光是一个机械的、化学的和物理化学的综合过程。 玻璃研磨或磨削后的玻璃表面形貌如图四所示，表面形玻璃成了凹凸层与裂痕层。抛光的任务是要去除凹凸层与裂痕层。 下面以氧化铈抛光粉悬浮液对硅酸盐玻璃抛光为典型例子说明抛光机理。玻璃表面产生水解反应： 基于抛光的机理我们研究一下抛光工艺因素对抛光过程的影响。 1.机床的压力和速度 在一定范围内，抛去量与机床的正压力和相对速度成线性上升关系（图六），可以用著名的抛光方程—Preston方程来表达： hi—在Pi点T时间内抛去玻璃层厚度 Pi—在Pi点的瞬时正压强 Vi—在Pi点的瞬时相对速度 抛光时其它工艺因素 2．氧化铈抛光悬浮液的参数 1）抛光粉的牌号 氧化铈抛光粉的牌号是否适合被抛光玻璃的种类和牌号，例如工艺品抛光宜选用较粗的粒度（2~9?m）的抛光粉，而光学件和电子玻璃宜选用中等或细的粒度（0.1~2?m）的抛光粉，而硅片锗片等的抛光则需要微粉级（0.1?m）的抛光粉。 3）抛光液的浓度 氧化铈：水=1:5或更稀。速度、压力高时可以加浓。 4）抛光液的酸度值（pH值）