微结构分析技术-副本要点.pptx

;;;;;;;;主要优点? Titan G2 60-300 显微镜采用全新的设计平台，专注于实 现球差校正器和单色仪技术及其应用的最大稳定性、性能和灵活性。? Titan ETEM 是一款绝佳原位高分辨率电子显微镜，用以研 究在变化的温度和气体条件下原子级化学反应的动态行为。? Titan Cubed 采用全新设计的基座，配以图像校正器和束 斑校正器和单色仪，为镜筒提供超稳定支持。? Titan Krios;用于高级分析的创新技术 FEI Tecnai 系列透射电子显微镜 (TEMs) 旨在为生命科学、材料科学和电子行业提供真正完整的成像和分析解决方案。 Tecnai G2 系列拥有数种型号，结合了现代技术和创新科学和工程团体的紧迫需求。;保证0.08nm的世界最高STEM (HAADF) 分辨率 ARM200F为电子光学系统标准配备了一体化球差校正器，电气和机械性能的稳定性也达到极限水平, 使扫描透射像(STEM-HAADF)分辨率达到0.08nm, 成为商用透射电子显微镜中的世界之最。电子束在像差校正之后, 束流密度比传统的透射电子显微镜高出一个数量级。因为束流更亮更细、电流密度高, ARM200F能够在进行原子水平分析的同时, 还能缩短检测时间和提高样品处理能力。 电气稳定性的提高 要达到原子水平的分辨率, 控制电子光学系统的电源需要稳定。ARM200F把高压和物镜电流变动降低到传统透射电子显微镜50%, 大幅度地提高了电气的稳定性。 机械稳定性的提高 照射系统和成像系统采用像差校正器，实现原子水平的分析和成像，需要控制原子水平的振动和变形。 ARM200F整体机械强度比传统透射电子显微镜增大两倍，通过增大镜筒尺寸，提高了刚度，优化了操作台结构,增强了机械的稳定性。 高扩展性的STEM 分析能力 暗场检测器因STEM检测角度的不同有两种类型(其中一种为标配), 它和明场检测器(标准配备), 背散射电子检测器 (选配件) 可以同时安装。新的扫描成像获取系统能够同时收集4种不同类型的信号, 可以同时观察这4种图像。 环境对策 装置设置室的温度变化和杂散磁场也能引起原子水平的振动和变形。为降低外部影响，ARM200F特别标配了热屏蔽和磁屏蔽系统。另外，对镜筒加外売覆盖以免受周围空气对流所引起的镜筒表面温度变化的影响。 用于成像系统的球差校正器 （选配件） 使用选配的成像系统球差校正器, 透射电子显微镜的图像(TEM)分辨率能提高到0.11 nm。;专用扫描透射显微镜HD-2700，配备了与德国CEOS GmbH公司（总经理Max Haider先生）共同开发的球差校正仪，显著提高了扫描透射电子显微镜的性能，更适合高级纳米技术研究。由于球差校正系统校正了限制电子显微镜的性能的球差，使其与标准型号显微镜相比，分辨率提高了1.5倍，同时，探针电流提高了10倍。 最近，该显微镜还配备了高分辨率镜头和冷场发射电子枪，进一步提高了图像分辨率和电子束能量分辨率。同时，该型号系列还增加了一款不带球差校正的主机配置，可以以后加配球差校正进行升级。 特点 高分辨率扫描透射电子显微镜成像 HAADF-STEM图像0.136nm，FFT图像0.105nm（高分辨率镜头（*）） HAADF-STEM图像0.144nm（标准镜头） 明场扫描透射电子显微镜图像0.204nm（w/o球差校正仪） 高速，高灵敏度能谱分析：探针电流×10倍 元素面分布更迅速及时 低浓度元素检测 操作简化 自动图像对中功能 从样品制备到观察分析实现无缝连接 样品杆与日立聚焦离子束系统兼容 配有各种选购件可执行各种评估和分析操作 同时获取和显示SEBF, SEDF, BFDF, DF/EDX面分布（*） 和DF/EELS面分布（*）图像。 低剂量功能（*）（使样品的损伤和污染程度降至最低） 高精度放大校准和测量（*） 实时衍射单元（*）（同时观察暗场-扫描透射电子显微镜图像和衍射图案） 采用三维微型柱旋转样品杆（360度旋转）（*），具有自动倾斜图像获取功能。 ELV-3000即时元素面分布系统（*）（同时获取暗场-扫描透射电子显微镜图像） （*） 选购件 技术指标 HD-2700球差校正扫描式透射电子显微镜;;SEM性能特点;SEM性能特点;SEM应用举例;新技术新进展;;;;XPS特点与应用;XPS新技术进展;;;SIMS技术特点;SIMS技术应用;SIMS技术进展;;;;;