压电悬臂梁探针中压电电荷信号的检测论文开题汇报.pptVIP

本科毕业论文开题报告 报告人:徐彪 指导老师:王海 200７.４.１ 压电悬臂梁探针中压电电荷信号的检测 可行性研究及基本工作思路 论文工作计划 文献综述(一) 文献综述(二) 预期结果及合理化设想 可行性研究及基本工作思路 　1.可行性研究: 压电微悬臂梁是一种利用压电元件的逆压电效应驱动微悬臂梁使其振动,并利用压电元件的压电效应来检测梁的变形量的集成微驱动器和微传感器。 微悬臂梁是一种在微电子机械系统(MEMS)中常用到的结构,其多用于微小力检测、加速度检测、生物化学检测及数据存储等方面。微悬臂梁具有很宽的动态范围,其谐振频率可从数十赫兹做到数兆赫兹,适于多种场合。同时微悬臂梁有很高的分辨率,以微小力检测为例:原子力显微镜能检测到10-12N的微小作用力。微悬臂梁谐振时其自由端在垂直方向振幅为10nm甚至更小,因此其变形检测方法要有很高的分辨率。 　　 目前检测微悬臂梁变形量的方法主要有隧道电流法、电容法、光学检测法及压电、压阻效应法。在这几种检测方法中,压电效应检测法以其体积小,装置简单,分辨率高, 灵敏度高，并且由于压电效应的可逆性，易于与压电微执行器集成，且压电元件可兼做驱动元件等优点得到越来越广泛的应用。 ２.基本工作思路: (1)、调研国内外已有研究成果，掌握其原理，吸收其经验； (2)、对压电悬臂