谐振式微传感器低功耗专用信号源研究.pdfVIP

第24卷 第2期 传 感 技 术 学 报 V01．24 No．2 2011年 2月 CHINESE JOURNALOFSENSORSANDACTUATORS Feb．201l ResearchonLow—PowerSignalSourceforM icromachinedResonantSensor FANShanchun ，LUODongjun，XINGWeiwei (SchoolofInstrumentScience＆OptoelectronEngineering，BeihangUniversity，Betling100191，China) Abstract：Tomeetdemandsforlow powerandtow distortionofmicromachinedresonantsensor，thispaperpresentsa methodtoimprovepresentdirectdigitalsynthesizer(DDS)technology，replacingcurrentzeroorderholding approximationmethod to polyline approximation method to reduce thedistortion．A theoreticalformula in time- domainwascalculated，describingtherelationship between the numberofdiscretepointsand thetotalharmonic distortion(THD)，andconfirmingthefeasibilityofthismethodbyMATLABsimulationandcircuitrealization．This proposeddesignreducesthedemandofsystem clockbutremainingthespectralpurityofsigna1．Moreover，itcanbe animportanttheoreticalreferenceofachievementoflow powerdissipation． Keywords：micromachined resonantsensor；low—powersignalgenerator；DDS；polylineapproximation；saw-tooth wavegenerator；THD EEACC：7230：1230G doi：10．3969／j．issn．1004-1699．2011．02．014 谐振式微传感器低功耗专用信号源研究术 樊尚春 ，骆东君 ，邢维巍 (北京航空航天大学仪器科学与光电丁程学院，北京 100191) 摘 要 ：为满足谐振式微传感器对信号源低功耗、低失真的要求 ，本文提出了一种对现有DDS(直接数字合成)技术进行改进 的方案，将现有的零阶保持逼近改进成为折线逼近来减小失真，并通过详细的公式推导给出了改进后波形失真度 THD(总谐 波失真)的计算公式。最后给出了MATLAB仿真结果和电路实现结果来验证方案可行性。结果表明在同等失真度下本方案 大大减小了对系统频率的要求 ，为减小信号源功耗提供了理论依据。 关键词 ：谐振式微传感器；低功耗信号源；DDS；折线逼近；锯齿波发生器；THD 中图分类号：TP212．1；TN741 文献标识码 ：A 文章编号 ：1004-1699(2011)02—0227-06 近年来实现的谐振式微传感器技术，具有 良好 是 目前国内谐振式微传感器要摆脱实验室阶段的待 的温度稳定性 、长期稳定性和较高的灵敏度等优点。 解决问题 。 同时也具有直接的准数字式输 出信号的优点 。 不 同于一般的传感器 ，谐振式微传感器的敏感结构 需要和闭环控制系统结合形成 自激 闭环才能工作 。 如图 1所示 的就是国内最近研制 的一种 电阻热激 励 、电阻拾振 的谐振式微传感器闭环实现系统的原 理图，通过跟踪谐振敏感元件 的固有频率或谐振频 率 ，实现对被测量的测量 。另一方面，其敏感结