调幅式电容位移传感器开关检波电路设计.pdfVIP

2015年 第34卷 第5期 传感器与微系统 (TransducerandMicrosystemTechnologies) 85 DOI：10．13873／J．1000-9787(2015)05--0085-03 调幅式 电容位移传感器开关检波电路设计 冯 佳 ，李佩明 ，徐立松 ，尹志生 ，隋永新 (1．中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所 应用光学国家重点实验室。吉林 长春 130033 2．中国科学院大学，北京 100039) 摘 要：针对调幅式电容位移传感器乘法器检波存在的速度慢、功耗大和热噪声大问题，设计了一种基于 模拟开关的全波检波电路。首先，对开关全波检波和开关半波检波原理进行分析，根据分析结果选择了全 波检波方法。在此基础上，完成开关全波检波电路设计与测量系统其它部分设计。最后 ，利用八位半数字 表 3458A对检波电路与测量系统性能指标进行测试。测试结果表明：检波 电路可以实现0．1mV的分辨 率 ，测量系统在 150~650 m范围内分辨率达30nm，系统示值稳定性0．1mV／30min，电容测量系统最大测 量偏差为20nm。该测量系统满足电容测微系统稳定性好、准确性高的要求。 关键词：电容位移传感器 ；调幅；交流激励；检波电路 中图分类号：TP212．2 文献标识码：A 文章编号：1000-9787(2015)05-0085-03 Design ofswitch detectingcircuitforAM capacitive displacementsensor FENGJia，，LIPei．yue ，XU Li—song ，YIN Zhi—sheng ，SUIYong-xin (1．StateKeyLaboratoryofAppliedOptics，ChangchunInstituteofOptics，FineMechanicsandPhysics， ChineseAcademyofSciences，Changchun130033，China； 2．UniversityofChineseAcademyofSciences，Beijing100039，China) Abstract：Aimingatproblem ofamplitudemodulation (AM)capacitivedisplacementsensormuhiplierlow detectingspeed，largepowerconsumptionandbigthermalnoise，afull—wave detectingcircuitbasedon analog switchisdesigned．Firstly，analyze principle ofswitch full—wave detection and switch half-wave detecting， accordingto analysisresult，full-wave detecting method ischosen．On thisbasis，design ofswitch full—wave detectingcircuitandotherpartsofmeasuringsystem arecompleted．Finally，byusingeightandahalfbitdigital multimeter3458A，perfomr anceindexof detectingcircuitand measurementsystem aretested．Testresultsshow thatdetectingcircuitcanrealizeresolutionof0 1mV ，reso