酸性环境中基于Ta2O5的场效应管pH传感器的研究.pdfVIP

26 传感器与微系统(TrsducerandMierosystemTechnologies) 2014年 第33卷 第l期 酸性环境中基于Ta205的场效应管pH传感器的研究 金 妍 ，陈 淼 ，金庆辉 ，赵建龙 (1．中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室，上海200050； 2．CSIRO ProcessScienceandEngineering，Box312，ClaytonSouth，Victoria3169，Australia； 3．中国科学院大学，北京 100049) 摘 要：研制了一种基于Ta20 敏感膜的场效应式pH传感器，此传感器对pH有较好的敏感性：pH为1— 7的范围内呈现出-57．4mV／pH的响应，漂移性约为3mV，迟滞效应小于5mV，且无明显酸误差。对此 传感器的电化学阻抗谱进行深入研究，并采用不同的等效电路来拟合此Si／SiO。／TaO／电解液体系的响 应机理，得出最佳的等效电路模型为RC(CR)(C(RW))。对拟合参数进行分析，此TaO 敏感膜与不同 pH的电解液接触时，敏感膜与电解液的界面作用最终会引起半导体硅中空间电荷的变化，进而引起整个 传感器结构的电容变化。制作的pH传感器稳定性好，适合于生物冶金过程(pH为 1～4)的长时间连续监 测 。 关键词：TaO；pH传感器；电化学阻抗谱；原子力显微镜；等效电路模型 中图分类号：TP212．9 文献标识码：A 文章编号：1000--9787(2o14)01-0026-05 Research0nTa，，o ．basedfield．effect．transistor 1)H sensorin acidicenvironment JINYan ，CHENMiao，JINQing—hui，ZHAOJian-long (1．StateKeyLaboratoryofTransducerTechnology，ShanghaiInstituteofMicrosystem andInformationTechnoloyg ，ChineseAcademyofSciences，Shanghai200050，China； 2．CSIRO ProcessScienceandEngineering，Box312，ClaytonSouth，Victoria3169，Australia； 3．UniversityofChineseAcademyofSciences，Beijing100049，China) Abstract：Inthisstudy，anamorphousTa2O5一basedfield—effect—transistorpH sensorisdeveloped．Thissensorhas goodpHsensitivityatpHvaluerangeof1—7withanearlyNerstainresponse(-57．4mV／pH)，smalldrift (3mV)，smallhysteresis(5mV)andunnoticeableaciderror．Differentequivalentcircuitsareadoptedtofit responsemechanismofSi／SiO2／Ta2O5electrolytesystem，andtheoptimalequivalentcircuitmodelisRC(CR)(C ( ))．Analyzeonfittingparameters，itshowsthatwhileTa2O5filmcontactswithdifferentpHelectrolyte，action ofsensingfilm andelectrolyte interfacewilleventually lead tochangeofthe space