锗片的高速机械化学研磨工艺研究.pdfVIP

应用与试验 · 机械研究与应用 · 锗片的高速机械化学研磨工艺研究 张心明，黎塑飞，刘建河，范景峰 (长春理工大学 机 电工程学院，吉林 长春 130022) 摘 要 ：利用机械化学研磨的原理对锗片进行高速研磨。以研磨压力、主轴转速、磨料成分和磨料粒度为影响材料的 去除率和工件表面粗糙度的主要因素，进行对比性实验，通过实验分析研究确定了的锗片研磨加工工艺，加工 后的锗片能够满足使用需要。 关键词：锗单晶片；研磨；回着磨料 中图分类号：Till1 文献标识码：A 文章编号：1007-4414(2011)05—0098-02 Thestudyofhighspeedmechanochemistrygrindingtechnologyforgermanium wafer Zhangxin-ming，LiSu-fei，LiuJian-he，FanJing-feng (Changehununivemityofscienceandtechnology，ChangchunJilin 130022，China) Abstract：High-speed grindingongermanium waferwith theprincipleofchemicalmechanicalgrinding．Themainfactors whichaffectstherateofmaterialremovalandsurfs~3eroughnessaregrindingpressure，spindlesspeed，thecompositionofad- hesiveparticleandparticlesizeandamingatthesemainfactorsandsomecontrastexperimentsaremaken．Experimental anal· ysisdeterminedtheprocessofmechanoehemistrygrindingongemr aniumwafer．Theoptimizedwafercna meettheUSeofprod— uctsfully． Keywords：Gesingle-crystalwafer； nd；fixationabrasive 1 引 言 置在0O：连线上，距O 点的距离为R^，磨具上点A 在红外系统中，锗是应用最早的光学材料，太阳 相对工件的运动方程为： 能电池是一种非常有前途的新型电源，具有永久性、 ：RACOS(0，一02)一eCOS02 清洁性和灵活性三大优点，在太阳能光伏电池中，以 Y=RAsin (0 一02)+esin 02 锗片为能量转换元件可达到30％以上的能量转换效 或者：P= 了 = ．二_ 率。而太阳能电池的发展一方面要求芯片面积越来 (I) 越大，另一方面为了形成性能良好的PN结，还要对 这种大面积半导体工件进行研磨和抛光。这些大面 积锗片如具有较好的表面精度，就能获得较高的成像 质量并大幅提高能量转换效率。这就迫切需要一种 新技术满足实际生产和科研领域中锗片的需求…。 笔者介绍的是超薄类单晶锗片的高速研磨加工 工艺 ，尝试将一定比例的稀土成分，如纳米级氧化铈、 氧化锆等与金刚石微粉按照一定的比例混合后制成 丸片，粘结后制成高速研磨盘，并对锗单晶片进行研 图1 高速研磨原理示意图 图2 磨具与磨工件的相 磨加工。笔者对研磨压力、主轴转速、磨料的成分及 对运动关系图 磨料粒度参数与