第七章电容式传感器.pptVIP

第7章 电容式传感器 7.1 电容式传感器的结构与工作原理 7.2 电容式传感器的测量转换电路 7.3 电容式传感器的特点 7.4 常见的电容传感器展示 7.5 电容传感器的应用 7.6 电容式接近开关的应用 7.1 电容式传感器的结构与工作原理 对于平板型电容器（如图7-1）的电容量C与两平行极板的有效覆盖面积S、极板间介质的介电常数ε成正比，与两平行极板间的距离d成反比，即 当被测信号使ε、S、d中的任一参数变化时，都使电容量C也随之变化。如果保持其中两个参数不变，而仅改变其中一个参数， 就可把该参数的变化转换为电容量的变化，通过测量电路就可转换为电量输出。 根据这个原理，电容式传感器可分成三种类型：变面积式、变极距式和变介电常数式。 在实际使用中，电容式传感器常常以改变平行板间的极距d来进行测量。图7-2 所示为常见的电容式传感元件的结构形式。 1．变极距式电容传感器 电容量C与极板距离d成反比，当图7-3中动极板在被测参量的作用下发生位移时，改变了极距d的大小，从而使极板之间的电容大小发生变化。电容的初始值为 ，当动极板在被测参量的作用下发生位移，使极距d减小了Δd，则电容C将增加ΔC，当Δdd时，有 上式说明了单位位移能引起输出电容变化的大小，d越小，灵敏度越高，所以要提高电容传感器的