传感器技术第三章.pptVIP

变间隙型差动电容传感器： 变面积型差动电容传感器： * * 电容元件 非电量 电容量变化 1920~1925 电容传感器用于测量 70~80年代，应用广泛 集成电容传感器 第三章 电容式传感器 §3-1 电容式传感器的原理和结构 一、基本工作原理 C —— 电容量，单位：F 法拉 —— 真空介电常数，8.85×10-12F/m —— 极板间介质的相对介电常数 A —— 极板的有效面积（m2） —— 两平行极板间的距离（m） 1、平板电容器 2、圆筒形电容器 二、变间隙型电容传感器 极板上移： 1、基本特性 讨论： （1）略去高次项 （2）考虑二次项 2、有介电层的变间隙型电容传感器 3、差动式变间隙型电容传感器 动极板上移： 初始位置时， 提高一倍 减小 略去高次项： 三、变面积型电容传感器 中间极移动式变面积型 差动结构变面积型 板状线位移变面积型 角位移变面积型 筒状线位移变面积型 结构型式 1、板状线位移变面积型 线性 线性 线性 3、筒状线位移变面积型 2、角位移变面积型 4、中间极移动式变面积型 5、差动结构变面积型 ① 扇形平板结构 ② 柱面型结构 四、变介质型电容传感器 例3-1: 参考文献： “高静电场下的薄膜测厚技术”，《仪表技术与传感 器》，2001年8期 例3-2 电容式液位传感器 线性 1、“用MATLAB语言建立液位电容传感器特性的数学 模型”，《传感器技术》，2001年6期 参考文献： 2、“射频电容式传感器的研究与应用”，《传感器技 术》，2001年2期 设计一个油料液位监测系统。当液位高于 H1 时，鸣响震铃且红色LED亮，当液位低于 H2 时，鸣响震铃且黄色LED亮，当液位处于 H1 和 H2 之间时，绿色LED亮。 差动变间隙型电容传感器，初始电容 ， 初始间隙 ，设动极板相对于定极板位移了 ，计算其非线性误差。若改为单极平 板电容，初始值不变，非线性误差有多大？ 如何改善单极式变间隙型电容传感器的非线性？ §3-2 电容式传感器的测量电路 电容式传感器 测量电路 被测非电量 U、I、f 电容 直放式 外差式 普通交流电桥 耦合电感电桥 变压器电桥 双T二极管交流电桥 交流电桥电路 运算放大器式电路 调频电路 调幅电路 调宽电路 一、调频电路 振荡回路固有电容 引线分布电容 传感器电容 1、直放式： 被测信号 调频信号 鉴频信号 调频电路的优点： 抗干扰能力强 特性稳定 高电平直流信号 易于接口 2、外差式 二、调幅电路 1、交流电桥电路 （1）普通交流电桥 （2）紧耦合电感电桥 耦合系数 电路谐振点： （3）变压器电桥 回路1 回路2 节点A 差动变间隙型电容传感器： 线性关系 （4）双T二极管交流电桥 2、运算放大器式电路 变间隙型电容传感器： 线性关系 “变气隙式电容传感器非线性补偿新方法”，《传感 器世界》，2001年9期 参考文献： 三、脉冲宽度调制电路 跳变 触发器翻转 跳变 触发器翻转 双稳触发器 滤波器 *