薄膜物理第一章.pptVIP

要 点 气体分子运动论的基本概念 真空获得的手段 真空度的测量 在薄膜技术领域，人为地将真空环境粗略地划分为: 低真空 102 Pa 中真空 102 ?10-1 Pa 高真空 10-1 ?10-5 Pa 超高真空 10-5 Pa §1.1 气体分子运动论的基本概念 气体分子对单位面积表面的碰撞频率，称单位面积上气体分子的通量 Kn1 分子流状态 Kn110 粘滞流状态 110Kn1 过渡状态 1、流量Q 单位时间内气体流动的量叫流量。 在真空技术中，与水的情况不同，流量要用（压强 ×体（容）积/时间）表示。 单位：Pa·L/s 2、流导： 真空系统中，气体的通过能力称之为流导C, 表示气体流动的难易程度。定义为： 对不同流导C1、C2、C3组成的系统， 其合流导C为： 串联流导： 并联流导： （就象描述气体流动的欧姆定律） 1、定义 真空泵的抽速Sp与管路的流导C有着相同的物理量纲，且二者对维持系统的真空度起着同样重要的作用 §1.3 真空泵简介 §1.4 真空的测量 第一章 小结 薄膜材料在现代科技领域占有重要的地位，可作为大家今后作为科学家或工程师的职业方向 真空技术是现代薄膜