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轻质碳化硅反射镜抛光过程镜面变形影响的研究.pdf
先争执本 Vo1. 34 No.4
第34卷第4期
2008 年7 月 OPTICAL TECHNIQUE July 2008
文章编号: 1∞12-1582(2∞8)04-0605-03
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张斌智1 ， 2 ，杨利伟1 ，张峰1 ，张忠玉1 ，张学军1
(1.中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，长春 13∞33; 2. 中国科学院研究生院，北京 10∞39)
摘 要:轻量化的碳化硅反射镜有自己独特的结构特点，加工中的变形与传统实体反射镜不同，对加工后的面形结
果有独特的影响。对一直径为 318rnm 的轻量化碳化硅反射镜进行了传统的研磨抛光，由于镜面变形对抛光结果带来了
很大的影响，其面形误差的 R岛1s值在 0.048λ (，1， = O. 6328pm)左右就不再收敛。对抛光状态的镜体进行了有限元分析，
探讨了减轻镜面变形对抛光结果影响的方法。采用计算机控制小磨头对该反射镜进行了确定性抛光，有效地降低了镜
面形变的影响，使面形满足了精度的要求。
关键词:碳化硅反射镜;光学抛光;镜面变形;有限元方法;计算机控制光学表面成型
中图分类号:咀-I74;τH706 文献标识码:A
Research on the effect of optical facesheet deformation
during polishing Iightweight silicon carbide mirror
1 1 1 1
ZHANG Bin-zhi ,2 , YANG Lin-wei , ZHANG F四矿， ZHANG Zhα19-yu ， ZHANG Xue-jun
(1. Changchun Institute of 句ti凶， Fine Mechaniαand Phys白， Chine忧Aædemy of Sciences , Changchun 130033 , China)
(2. Graduate Sd1刀，1 of the Chine把Aædemy of Scien邸，Beijing 10∞39 ， China)
Ahstract: SiC lightweight mirrors are used for a large number of s阳.ce tel岱αJ!)eS. The 严imary characteristics si且con car-
bide offers relative ωother more traditional materials include high stiffr邸， high ωughn锢， low thermal distortion and poten-
tialαJSt and schedule advantages. A lightweight SiC mirror with an aperture of 318 rnm is grinded and polished by the tradition-
al metl时. The mirror deforms during polishing pr四四. Therefore the surface RMS error reaches O. 062λ(λ=0.6328问时，
it no longer ∞I1Verges. The mirror during the 归lishing 阳ocess is analyzed by the finite element metl时， and scxne metl叫s for
reducing the mirror deformati∞缸e d
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