多级磁压缩脉冲电源.doc

多级磁压缩脉冲电源 万 枫，李 孜 (上海理工大学光电与计算机学院，上海200093) 摘要：阐述用于EUV光刻技术的脉冲功率电源的设计。该脉冲电源由充电电容组。半导体开关(IGBT)，脉冲变压器和四 级磁压缩回路组成。解释磁开关的工作原理。提供各关键元件的设计参数。根据磁性材料的物理特性参数。利用Pspice 仿真软件建立磁芯模型，构建磁开关和仿真电路。对各级电压和电流波形进行分析，进而设计调整各级磁开关的参数。 实验结果表明。该脉冲电源输出峰值为30 kV，上升沿为85 as。脉冲宽度100 as的脉冲信号。 关键词：脉冲功率；磁压缩；磁开关；Pspice 中图分类号：TM 154．2 文献标识码：A 文章编号：1002— 087 x(2012)01— 01 18— 03 Design of EUV pulsed power system using multi— stage magnetic compression circuit WAN Feng，LI Zi (School ofOptical-Electrical and Compumr Engineering,University ofShanghai for Science and Technology,Shanghai 200093，c矗ina) Abstract：The design of a pulsed power generator for microlithography to discharge produced plasma(DPP)EUV light source was expatiated in this paper．This power consisted of a charger a capacitor bank，a semi-conductor switch(IGBT)，a pulse transformer and 4-staged magnetic pulse compression circuit．The working principle of magnetic switch was introduced，and the design parameters of the key components were provided．Based on the physical properties of the magnetic materials，Pspice simulation software was used to establish the core model and MPC。all levels of the voltages and currents waveforms were analyzed，and then the levels of the design parameters of the magnetic switch were adjusted．The experiment results show that，the output peak voltage Of the pulsed power iS 30 kV．the rise time is less than 85 ns and the pulse width is under 1 00 nS． Key words：pulsed power；magnetic compression；saturable inductor；Pspice 脉冲功率技术在国防科研和高新技术领域有着极为重要 由高压IGBT开关、二极管、电容器组c0和4级磁压缩回路 的应用，而且现在已经越来越多地应用于工业和民用部门。近 (MPC)组成。厶的磁辅助作用能有效减少IGBT在开通和关断 年，磁开关脉冲压缩技术能有效地陡化和压缩脉冲，克服其他 时的损耗。MPC回路由町饱和电感(跚、％、踞、S厶)，低电感电 大功率开关的不足，而且无触点闭合动作，有较强的可重复 容(cl、c2、G、(4)和负载组成。脉冲变压器PT起升压作用，正 性，有利于提高放电频率。并且使用寿命长、高耐压、高耐流， 副边m数比为2：32。磁开关的磁芯由纳米软磁合金材料制做 所以大大提高了脉冲形成单元的性能【l-4]。 而成。G的大小为2 mF，初始充电电压为l kV。电容c1、G、 作为EUV光源的受激准分子激光器必须能够高重复率、 c3、G大小分别为8廿、32 nF、32 IlF、32 nF。 稳定产生短波长脉冲，并且自身的使用寿命要长。传统EUV 产生方法有二种，一种是LPP系统，另一种是DPP系统。但是 LPP系统价格过高，DDP系统效率太低【II。利用MPC和半导体 开关研制而成的受激准分子激光器，克服传