四探针测试仪测量电阻率四探针测试仪测量电阻率.PDF

四探针测试仪测量电阻率四探针测试仪测量电阻率 四探针测试仪测量电阻率四探针测试仪测量电阻率 整理整理：王华涛：王华涛 2014.06.07 整理整理：：王华涛王华涛 _________________没有预习报告者没有预习报告者，不能做实验，不能做实验__________________ 没有预习报告者没有预习报告者，，不能做实验不能做实验 一、一、 实验目的实验目的 一一、、 实验目的实验目的 1. 掌握四探针法测量电阻率的原理及测量方法； 2. 了解四探针法测量薄层电阻的原理及测量方法； 3. 了解影响电阻率测量的各种因素及改进措施 二、二、实验仪器实验仪器 二二、、实验仪器实验仪器 采用 RTS-8 型四探针测试仪型四探针测试仪 型四探针测试仪型四探针测试仪 三、三、介绍介绍 三三、、介绍介绍 电阻率的测量是半导体材料常规参数测量项目之一。测量电阻率的方法很 多，如三探针法、电容 电压法、扩展电阻法等。四探针法则是一种广泛采用的 标准方法，在半导体工艺中最为常用。其主要优点在于设备简单，操作方便，精 确度高，对样品的几何尺寸无严格要求。四探针法除了用来测量半导体材料的电 阻率以外，在半导体器件生产中广泛使用四探针法来测量扩散层薄层电阻，以判 断扩散层质量是否符合设计要求。因此，薄层电阻是工艺中最常需要检测的工艺 参数之一 1. 四探针技术的传统应用四探针技术的传统应用 四探针技术的传统应用四探针技术的传统应用 图 1 四探针技术的传统应用 1 2. 四探针发展历史四探针发展历史 四探针发展历史四探针发展历史 1865 年 汤姆森 首次提出四探针测试原理； 1920 年 Schlunberger 第一次实际应用，测量地球电阻率； 1954 年 Valdes 第一次用于半导体电阻率测试 ； 1980 年代 具有 Mapping 技术的四点探针出现 ； 1999 年 Pertersen 开发出首台微观四点探针 3. 四探针测试原理四探针测试原理 四探针测试原理四探针测试原理 测试探针测试探针 测试探针测试探针 被测样品被测样品 被测样品被测样品 图 2 四探针测试原理图 四根等距探针竖直的排成一排，同时施加适当的压力使其与被测样品表面形 2 成欧姆连接，用恒流源给两个外探针通以小电流 I，精准电压表测量内侧两探针 间电压 V ，根据相应理论公式计算出样品的薄膜电阻率