真空的获得、测量与校准.PDF

真空的获得、测量与校准 实验者：余钊焕 合作者：朱 可 （中山大学理工学院，物理学专业2006 级，学号） 2008 年 12 月 5 日 【实验目的】 1. 熟悉真空技术的基本知识。 2. 用膨胀法校准热偶式真空计。 【实验原理】 （一）真空技术基础 1.真空的物理特点 真空度的高低用气体的压强来描述，压强愈低，表示真空度愈高。在真空技 术中常用的压强单位是帕（Pa ），托（Torr ）和毫米汞柱（mmHg ），它们之间的 关系是： -3 Torr ，1 Torr ≈ 1 mmHg 。 1 Torr = 133.3324 Pa ，1 Pa = 7.50062×10 按真空度的高低可将真空状态分为如下几个区间：粗真空区间（760~10 -3 -3 -8 Torr ），低真空区间（10~10 Torr ），高真空区间（10 ~10 Torr ），超高真空区间 -8 -14 -14 （10 ~10 Torr ），极高真空区间（10 Torr ）。 2.真空的获得 真空获得是指使用各类真空泵对容器进行的抽气过程，真空泵按其工作原理 的不同有很多种类，如机械泵、油扩散泵（分为玻璃扩散泵和金属扩散泵）、罗 茨泵、低温冷凝泵、溅射离子泵、钛升华泵、涡轮分子泵及吸附泵等，最常用的 真空泵是机械泵和油扩散泵。 （1）旋片式机械真空泵 旋片式机械真空泵的工作原理是：周期性地增大或减少泵内空腔的容积，膨 胀时与进气口相通，压缩时又正好与排气口相接，使被抽气体不断地流经泵内并 排出泵外，从而获得真空。 （2 ）直联式机械泵 目前已有可能在中小型泵中把转子的转速提高到1450 转/分，这样泵的体积 可大大缩小，重量减轻、成本降低。转子转速采用 1450 转/分，这数值刚好与一 般三相感应电动机的转速相同。因此，电动机和泵转轴间可直接连接，这种泵称 为直联泵，相比于旋片式机械泵具有振动低和噪声小的优点。 - 1 - （3 ）油扩散泵 油扩散泵常用于获得高真空，其工作原理是利用气体扩散现象来抽气。目前 广泛使用的三级或四级扩散泵都是分馏式的，它们的极限压强（即极限真空度） -7 -9 可达 10 ~ 10 Torr 之间，视所用的油质量及防止返流的措施情况而定。 3.真空的测量 真空计分两大类，一类是能够从它本身所测到的物理量直接算得压强的，称 绝对真空计，例如 U 型管真空计和压缩式真空计；另一类则需依靠校准才能算 得压强，称为相对真空计，例如热电偶真空计和热阴极电离真空计等。 （1）U 型管真空计 U 型管真空计也就是 U 形压强计，利用连通的两端的液面高度差直接测量。 如图 1 所示，如果管内的液体是水银（汞），则两端面的高度差的毫米数就是以 托为单位的压强差数。 h h h p p 若p p ，则h p A B B A B A B 为了提高 U 型管的测量精度，可以用低蒸气压强 的油类代替水银，因为油的比重比水银的小，同样的 压强差，其读数就会比水银的高度差大。我们知道液 柱对底部的压强等于液柱的高度与其比重的乘积，于 是有 h d d h d h ，K 油 汞 汞 汞 油 油 h d 汞 油 同上