真空镀膜机操作程序.doc

真空镀膜机操作程序 ????真空镀膜机操作程序，是参照北京仪器厂生产的DM-450C型说明书修改编写。具体操作时请参照该设备说明书 和设备上仪表盘指针显示及各旋钮下的标注说明。 ????①???检查镀膜机各操作控制开关是否在关位置。 ????②???打开总电源开关，设备送电。 ????③???低压阀拉出。开充气阀，听不到气流声后，启动升钟罩阀，钟罩升起。 ????④???安装固定钨螺旋加热子。把PVDF薄膜和铝盖板固定在转动圆盘上。把铝丝穿放在螺旋加热子内。清理钟罩内各部位，保证无任何杂质污物。 ????⑤???落下钟罩。 ????⑥???启动抽真空机械泵。 ????⑦???开复合真空计电源（复合真空计型号：Fzh-1A)。?? ?????a.左旋钮“1”顺时针旋转至指向2区段的加热位置。 ?????b.低真空表“2”内指针顺时针移动，当指针移动至110mA时，左旋钮1旋转至指向2区段测量位置。 ????⑧???当低真空表“2”内指针再次顺时针移动至6.7Pa时，低压阀推入。这时左旋钮“1”旋转至指向1区段测量位置。 ????⑨???开通冷却水，启动扩散泵，加热40min。 ????⑩???低压阀拉出。重复一次⑦动作程序：左下旋钮“1”转至指向2区段测量位置。低真空表“2”内指针顺时针移动，当指针移动至6.7Pa时，开高压阀（阀杆顺时针旋转）。 ????????等低真空表“2”内指针右移动至0.1Pa时，开规管灯丝开关。 ?????a.???发射、零点测量钮“9”旋转至指向发射位置。 ?????b.????左下旋钮“1”旋转至指向1区段测量位置。 ????????旋转发射调节钮“4”，使高压真空表“5”内指针指向5。 ????????发射、零点、测量旋钮“9”旋转至指向零点位置。 ????????旋转零点调节钮“10”，让高压真空表“5”内指针指向0位置。 ????????发射、零点、测量旋钮“9”旋转至指向测量位置。 ????????旋转标准调节钮“3”，让高压真空表“5”内指针指向10。 ????????旋转“倍加器”开关钮“8”至指向10-12，当高压真空表“5”内指针逆时针左移超过1时，再把“倍加器”开关旋钮“8”旋转至指向10-3。 ????????当高压真空表“5”内指针逆时针移动超过6.7Pa时，开工件旋转钮开关，钟罩内被镀件PVDF膜转动。 ????????开蒸发钮开关。把电流分插塞插入蒸发电极分配孔内（设有1、?2、?3、?4孔，可插入任意一孔）。 ????????右手旋转右侧调压器手轮，慢慢旋转升压。 ?????a.???从视镜窗口观察钨螺旋加热子的加热温度颜色变化情况。 ?????b.???当钨螺旋加热子颜色变成黄橙色，铝丝开始熔化时，左手操作挡板钮，移开钨螺旋上方挡板。 ?????c.???铝丝全部熔化蒸发，挡板回原位。 ?????d.????右手旋转调压器手轮回零位。第一次蒸镀工作完成。 ???21.??如果再想蒸镀一次（为了增加电极金属层厚度）：把电流分插塞拨出插入另一个电极分配孔。重复?操作动作。 ???22.??关闭规管灯丝开关。关闭高压阀（逆时针转手柄）。关闭工件旋转。关闭蒸发。旋转机械泵钮至指向扩散泵位置。 ???23.??低压阀拉出。钟罩充气。充气一段时间，当没有气.声时，升钟罩。 ???24.??钨螺旋加热子内加铝丝。PVDF薄膜调换另一面向下?（原下面已镀一层铝膜面向上）。紧固在转动圆盘上。 ???25.??落钟罩。开机械泵。 ?????a.???左下旋钮“1”旋转至指向2区段测量位置。 ?????b.???当低压真空表“2”内指针顺时针移动到6.7Pa时，低压阀推入。? ?????c.???左下旋钮“1”旋转至指向1区段测量位置。 ?????d.???当低压真空表“2”内指针顺时针移动到6.7Pa时，开高压阀。旋钮“1”旋转至指向2区段测量位置。 ?????e.???当低压真空表“2”内指针顺时针移动到指向0.1Pa时，开规管灯丝。 ?????f.???由?开始重复操作至??。?? ???26.??PVDF薄膜蒸镀完铝层后，按顺序关闭规管灯丝、高压阀、机械泵、扩散泵。把低压阀拉出。钟罩充气，充气完毕后升钟罩。取出工件，做好钟罩内清理工作。 ?????a.???落下钟罩。 ?????b.???开机械泵，抽3~5min，停机械泵。 ?????c.???切断供电总开关。 ?????d.??1h后再关闭冷却水。操作全部完成。 ??27.??正常生产中，如遇到突然停电时，要立即切断高真空测量，关闭规管灯丝，高压阀、低压阀拉出。来电后，先让机械泵启动工作3~5min后，再转入正常生产。