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基于石墨烯的量子电容无线蒸汽传感器摘要——基于石墨烯量子电容效应的无线蒸汽传感器已被证实。该传感器由金属-氧化物-石墨烯组成的可变电容与电感耦合组成，形成谐振振荡器电路。在相对湿度1%-97%的范围内，谐振频率与相对湿度（RH）变化呈线性关系，变化率为。通过无线测量得到的电容值与通过C-V曲线测量得到的值吻合，证明了石墨烯可变量子电容。该结果代表了一种新型的传感器传导装置，并为石墨烯量子电容传感器应用于化学与生物化学传感应用方面指明了研究方向。关键字-石墨烯、传感器、无线、量子电容、可变电容I介绍量子电容效应是泡利不相容原理的直接可观测的证据。尽管由于石墨烯的低能态密度，该效应在二维材料石墨烯中有很重要的作用，但是几乎没有实际的应用。近期，该效应被应用于无线传感器的实现，由于其依赖于能量的态密度和优秀的表面灵敏度。这种器件相对于其他技术有显著地优势，如基于电阻的传感与基于微机电系统的无线传感。本文证明了基于石墨烯的无线蒸汽传感器，使用由于能态密度产生的可变电容，作为传感器传导装置。石墨烯可变电容与电感线圈耦合，等效为一个LRC电路，以谐振频率对应于水蒸气浓度。我们发现石墨烯量子电容的改变会改变谐振频率，且谐振频率在蒸汽浓度从1%~97%变化时呈单调变化。进一步说，在多次浓度循环中，这种响应是可逆且稳定的。传感器响应时间作为一项重要特征，与其他测量装置的时间分辨率作了比较。石墨烯量子电容无线蒸汽传感器与其他被动感应方法相比，有以下优点：低信噪比，器件大小可变，响应迅速，有感应多种气体的能力（表面官能团的应用）。我们的结果表明石墨烯量子电容无线传感器可以提供一个强有力的平台来检测大范围的化学与生物目标。本文所使用的基本传导装置概念图如图1所示。当石墨烯表面吸附分子浓度发生变化时，会改变石墨烯内部的载流子浓度。由于石墨烯的低态密度，导致费米能级有一个可测的变化，以及量子电容变化。如果石墨烯作为金属-石墨烯-氧化物电容的电极且该电容与一个电感结合，量子电容的改变就会导致LRC电路的谐振频率的变化。为了使该传导装置应用于气体传感，石墨烯必须宝楼宇外部环境中，表明需要使用倒电容结构并把石墨烯置于金属栅电极顶部。另外，电容的电解质必须足够薄，以使得量子电容得以有效影响整个系统的电容。最后，谐振器必须有高品质因数Q，因此需要有一个多指结构从而减小串联电阻。如图1所示的传导装置与参考文献[21]所用的基于石墨烯的无线传感器不同，该传感器利用细菌对石墨烯电阻的改变来改变LRC电路的品质因数。II方法器件制备石墨烯可变电容的制备，首先准备一块基板，通过在石英基板上使用PECVD方法依次沉积和。绝缘的石英基板减小了高频时与接触点间的寄生电容。器件处理依赖于传统的印刷技术，从对层的活性粒子刻蚀开始，随后是局部背栅电极（Ti/Pd）的电子束沉积。使用ALD（原子层沉积）在栅极上沉积8nm厚的，用于栅绝缘。通孔形成并通过干腐蚀方式穿透，允许到达栅衬底。通过CVD方式生长的石墨烯被传导到成形的晶圆上。单层石墨烯生长在铜箔上，并用PMMA旋涂。在烘烤后，石墨烯未涂的一面使用氧离子刻蚀法移除。然后，使用对铜进行移除，并用HCl与DI水多次清洗。最后，石墨烯上粘附有PMMA，使用水传导方法将石墨烯传导到基板上，然后使用溶剂刻蚀法去除PMMA。之后使用氧离子对石墨烯进行图案化，形成期望的灵活的器件结构。通过Ti/Pd/Au（1nm/25nm/35nm）金属栈的电子束蒸发形成形成欧姆接触。最后，厚Ti/Al（10nm/300nm）金属层沉积于允带线上，与器件接触。使用拉曼光谱来检测单层石墨烯。图1.石墨烯量子电容蒸汽传感传导装置概念图最终芯片有以下几个器件。所有可变电容均有5μm的栅长度，并排为多指结构，指长为40μm或100μm。这种结构允许在维持低串联电阻时得到大的电容。这种石墨烯位于顶部的结构有一个额外优点：它允许介电质非常薄，这是可以观察到强量子电容调谐的需要，因为不需要成核层。正如沉积于石墨烯一样。如图2为器件设计图与单层石墨烯可变电容的光学显微镜图。图2. 本文所用的感应系统电路图与该实验中典型的可变电容光学显微图以及可变电容结构的横截面原理图。在实际的实验中，使用五个相同的电容并联作为一个电容使用。湿度传感图2同时展示了用于湿度测量的气室结构图与用于无线传导的耦合电感振荡器电路图。气室中的相对湿度通过控制已知流速的水饱和空气与干燥空气（100%与~0%相对湿度），将压缩的空气通过浸没在热DI水中的碎石块来制备水饱和气体，同时让空气通过无水硫酸钙来制备干燥空气。为防止凝结的水珠进入气室，需要在混合干湿气流前在水饱和的线上包括一个冷凝阱。通过使用活塞与转子流量计小心控制干湿气体的比率来获取期望的相对湿度。在所有的测量中，不允许在芯片上出现凝结水，从而改变谐振