基于硅微加工技术的新型变形反射镜.pdfVIP

第# 卷 第$ 期 强 激 光 与 粒 子 束 %’( # ，)( $ *++, 年$ 月 -./- 01234 56734 6)8 0649.:53 ;367 =’( ，*++, 文章编号：++ ,@**（*++, ）+$ +A*B +B 基于硅微加工技术的新型变形反射镜! * * 余洪斌 ， 陈海清 ， 张大成 ， 竺子民 ， 李 婷 （! 华中科技大学光电子工程系，湖北武汉,@++$, ； *! 北京大学微电子学研究所微米 纳米加工技术国家重点实验室，北京 ++A$ ） 摘 要： 给出了一种基于硅微加工技术的新型变形反射镜的设计和加工方法。变形反射镜镜面主体是 由一定厚度的硅膜构成，硅膜上表面溅射有一层9C D 6 ，背面有一$ E $ 阵列的台柱与之相连，台柱下方是对应 的驱动电极。当给电极施加电压时，产生的静电力就会拉动台柱向下运动，从而使相应的镜面部分发生变形； 通过控制通电电极的位置及电压，就可获得特定的镜面形状。在变形反射镜的加工工序中采用浅腐蚀形成键 合台，采用深腐蚀加工出台柱。并采用F + G 条补偿图形对台柱的凸角进行补偿，在+( *0H 气压下进行键 合，最后成功研制出有效反射面积为@+II E @+II ，拥有,J 个静电驱动单元的变形反射镜。 关键词： 变形反射镜； 体微加工； 静电驱动； 凸角补偿； 阳极键合 中图分类号： 9)*B# 文献标识码： 6 ［，* ］ 变形反射镜是自适应光学系统中的核心组成部分之一 。现有的几种变形反射镜大都采用材料的压电 效应进行驱动，驱动电压较高，响应频率较低，且体积庞大、成本高昂，因而目前大都只应用于大型地基天文望 远镜的自适应光学系统中［@ ，, ］。为了推广自适应光学的应用，急待解决的问题就是发展小型低能耗的变形反 射镜。近年来随着基于硅微加工技术 37 领域的兴起，我们可以找到一个能很好地解决上述问题的途 径［B K $ ］。本文给出了一种新型的硅基变形反射镜的设计思路，并对相关的加工步骤进行了优化。 # 器件原理和设计 #( # 驱动方式及加工工艺的选取 在37 领域中有多种驱动方式，包括热驱动、磁驱动及静电驱动等，其中以静电驱动应用最广，因为其 结构实现容易、能耗较低且响应频率较高［A ］。这些特点正是我们在实际应用中所希望得到的，因而本设计采 取的是静电驱动工作方式。目前硅基微加工大致可分为两大类：体加工和表面加工。就表面加工而言，它本质 上是一种“加法”工艺，即通过在硅上依次淀积不同的材料，最后通过释放来实现最终的结构，这时结构的主体 是由淀积材料构成的，硅此时充当衬底的作用。为了使释放能顺利进行，通常要在结构上预留一些释放孔，当 光入射到表面时，在这些孔的周围就不可避免地会出现一些干涉现象，从而使得光学性能变差。而体硅工艺是 通过去除硅片的一部分，来获得所需的结构，因而它可充分利用硅片良好的表面质量及出色的整体机械性能， 获得高性能的器件。 #( % 原理及设计 本设计中变形反射镜的结构如图 所示。镜面主 体由一定厚度的硅膜构成，为提高反射率，通常溅射一 层9C D 6 ，在硅膜背面有一$ E $ 阵列的台柱与其相 连，台柱的下方是对应的驱动电极。当给电极施加电 压时，产生的静电力就会拉动台柱向下运动，从而带动 相应的镜面部分发生变形。通过控制通电电极的位置 及电压大小，就可获得特定的镜面形状。 这种结构的驱动原理可用最典型的平行板电容结 LCM( 7NOPIHQCN R SPRTIHU’P ICTTT 图 可变形反射镜结构示意图 构模型给出，如图* 所示。其中下极板是固定的，而上 ! 收稿日期：*++@??+$ ； 修订日期：*++,?+*?# 基金项目：总装“十·五”基础研究基金项目资助课题（,@