第8章真空技术.PDFVIP

第8章：真空技术 8.1 概述 8.2 真空的获得 8.3 真空的测量 8.4 真空检漏技术 8.1 概述 真空概念 – 真空：一定空间内气体分子密度小于该地区大气 压下气体分子密度。并非指一定的空间内空无一 物 按真空度划分 5 3 -1 -4 -7 10 粗真空3 ×10 中真空10 高真空10 超高真空10 极高真空 真空在低温中的应用 – 在气体液化、低温液体的贮运(低温容器) 以及减压 降温的控制中，都离不开真空技术。 西蒙氦液化系统 1、He 以环境温度和10~15MPa压力充入厚壁容器中； 2、用LN2冷却He至77K （T-S 图上2~3 ） 3、用LH2冷却He至10K （T-S 图上3~5 ） 返回 4、He绝热放气液化 （T-S 图上5~f ） 8.2 真空的获得 真空的获得方法：机械、物理、化学、物 理化学 获得真空的工具—真空泵： 机械泵 机械的方法 扩散泵 物理的方法 低温泵 物理的方法 吸附泵 物理、化学方法 返回 8.2.1 机械泵 1 两个主要作用 – 获得低真空 – 作为其它抽更高真空 泵(扩散泵、冷凝泵) 的前级泵 2 旋片式机械泵 – 转子与泵体呈偏心 – 旋片靠弹簧紧贴在空 腔内表面 – 排气阀用油密封，防 止大气返流 8.2.1 机械泵 3 不宜抽水蒸汽 – 水蒸汽在压缩过程中会冷凝，形成的液体和油混 合残留在泵体内，产生的后果： • 泵体中水蒸气压和被抽容器压力达到平衡时，泵就不起 抽气作用了； • 水混入油后，使油含酸性，引起油胶化、泵的金属零件 氧化，损坏机械泵。 4 极限真空 – 国产的双旋片机械泵的极限真空为0.67 Pa 。 5 机械泵的抽气速率 – 不是一个常数，随容器中的压力而变，达极限真 空时抽速为零。 返回 8.2.2 扩散泵 扩散泵是获得高真空 2 工作原理（参考） 的主要工具，是一种 – 当扩散泵油锅中的泵油在真空中 次级泵，需以机械泵 被加热到沸腾温度时，便产生大 作为前级泵。 量的油蒸气，油蒸汽经导管由各 级喷嘴定向高速喷出。由于进扩 1 结构示意图 散泵的被抽气体的分压大于蒸汽