MEMS器件平板运动结构的空气阻尼分析_张雄星.pdf

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2017-06-01 发布于河南
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MEMS器件平板运动结构的空气阻尼分析_张雄星

30 4 Vo l. 30 N o. 4 20 10 0 8 J ournal o f Xi. an T echnolog ical U niv ersi y A ug. 20 10 : 1673- 9965( 2010) 04- 310- 05 * M EM S 张雄星, 王伟, 彭首军 ( , 7 10032) : 为保证常压封装的M EM S 器件有期望的动态特性, 需分析微结构的空气阻尼效应. 采用A N SY S 运动板间空气阻尼进行了仿真分析. 建立了压膜阻尼模型, 利用稳态分析和谐波分析分别确定低频和高频工作时的阻尼效应, 分析了运动板工作频率速度材料适应系数与空气阻尼的关系, 并把无孔板和有孔板的阻尼进行了比分析. 结果表明: 工作频率和结构参数是影响空气阻尼的重要因素, 在板上开孔可控制阻尼系数和刚度系数. : M EM S 微结构; 平板运动; 空气阻尼; 压膜阻尼 : T M35 8 : A ( M icroOelec roOmechanicalOSys- . ems , M EM S) , . , , , , , [ 1O4] . MEM S , , 1 , Fig . 1 M ov emen diag ram o f slide f ilm damping , M EM S [ 5O8] . A N SY S , MEM S . 1 流场建模 2 MEM S F ig . 2 M ovemen diagr am of squeeze f ilm damping [ 1, 5] . 1 2 , , O , ( N av ierOS okes , NOS) , . , ; LA c= ( 1) MEM S d . :A ; L : . * : 2009- 12-03 : ( 1979O) , , , M EM S. EOmail: fjOzx x923@ 163. com . 4 等: M EM S 311 ,