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酸两步催化法制备耐候性SiO2增透膜的研究.pdf

酸两步催化法制备耐候性SiO2增透膜的研究

第 27卷第 5期 无 机 化 学 学 报 Vo1.27No.5 2011年 5月 CHINESEJOURNALOFINORGANICCHEM[ISTRY 823.827 碱/酸两步催化法制备耐候性 SiO2增透膜的研究 业海平 张欣向 肖 渡 1 晏 良宏 2 江 波 (四川大学化学学院绿色化学与技术教育部重点实验室,成都 610064) (中国工程物理研究院激光聚变研究中心,绵阳 621900) 摘要:以正硅酸乙酯(rEOS)为先驱体,采用碱/酸两步催化溶胶一凝胶法制备出一种兼具碱催化增透膜的高透过率和酸催化增透 膜的 良好耐摩擦性能的优点的SiOz增透膜 。对酸碱催化 SiO-相对 比例及酸催化时水含量的系统研究表 明, 当酸催化 SiO 的含 量为 50%时,增透膜综合性能最好 ,即具有高透过率和高耐摩擦性 ;当n~on/Ha=l:0 . 0010时 ,增透膜 的透过率最高。碱 /酸两步 催化法制备的增透膜与水的接触角仅为 11.3。,本文进一步用六 甲基二硅氧烷(HMDS)对增透膜表面进行了修饰, 修饰后增透膜 的接触角提高至52.5。,增透膜 的疏水性及环境稳定性得到较大的提高。 关键词 :碱/酸两步催化 ;溶胶一凝胶法 ;六 甲基二硅氧烷 ;耐候性 中图分类号:0613.72 文献标识码:A 文章编号:1001.4861(2011)o5-0823.-05 PreparationandCharacterization0fEnvironment.-ResistantSilicaAntireflective CoatingbyBase/AcidTwo—StepCatalyzedSol-GelProcess YEHal·Ping ZHANGXin—Xiang XIAOBo YAN Liang--Hong JIANGBo, ( yLaboratoryofGreenChemistryTechndogy(MOE),CollegeofChemistry,SichuanUniversity,Chengdu610064, ~ResearchCenterofLaserFusion.ChinaAcademyof ,neeringPhysical, 伽y帆gSichuan621900,. n Abstract:Antireflective fAIR)coatingswithhightransmittanceandabrasion.·resistancewerepreparedbyatwo. stepbase/acidcatalyzeds0l-geJprocessusingtetraethylorthosilicate (TEOS)aSprecursor.Itwasfoundthat addition cf50% acid—catalyzed SiOein the solafforded hteAR c~atingsrelatively hi transmittance and enhancedabrasion,-resistance.ItprovidedtheAllcoatingwiht highesttransmittancewhilethemoleratioof Ho/ nHc1was1:0.0010.Thewatercontactangleofbase/add1WO—stepcatalyzedAR coatingwas11.3。,inthiswork, hexamethyldisiloxane (HMDS)wasfu~erusedIomodifythehydrophobicityof AR c0atings.AfterHMDS treatment,thehydroxylgroupsofAR coatingwerereplacedby—OSi(CH3)3,which greatlyincreasesthe hydrophobicityofthecoating.,aff0r

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