测定晶体表面膜厚度的衍射峰位移法.pdf

理化检验一物理舒册 6 测定晶体表面膜厚度的衍射峰位移法 一 ≯ 严高# 方锡华 (武铜锕研所 430080) (武钢硅钢事业部) 、 摘要 舟绍丁无需吸收乐教的新的X射线衍射捌厚方法，将此方法在 D／ma~一3CX射线衍射值上实施，橙蒯限可 选 2m 以下 ，灵敏度为 1．6× 主题词x射蛀衍射、， ，{污张 V X射线测厚，无论是衍射法还是荧光法，过去都是 用这一点 ：当～十带有涂层 、镀层或沉淀层的试样放到 建立在物质对X射线的吸收这一事实基础之上的 衍射仪试样 台上时 ．其基体表 面相对轴心会有一定的 本文介绍一种利用衍射仪 几何测厚的新方法 ：。这种 偏心量。这十偏心量就是表面膜的厚度。 方法不需知道试样的吸收系数 ．甚至可以不知道是什 考察具有 D／max3c等衍射仪 聚焦 条件 的情 况 么物质 ，所以具有明显的优越性 。 (图 1)： 在三角形△F0F中，有 ： 1 方法原理 OO ／sin 一 ／s．n( 一 2O) (1) 窳所周知，当试样待测表面偏离衍射仪轴心时 ．衍 和 0D。一 t／sjn (2) 射峰会产生位移，偏心愈严重位移禽大 本方法正是利 将式(1)代人式(2)，即得一般广角X射线衍射仪 测厚基本关系式 ： 一 sln~in?／sm2 (3) 2 实验验证 理论是否正确必须经实践的检验才能知道 。为避 免其他一切 目素的影响 ．本工作安排了实验 1： 实验 1 在图2中，A是框架 ，一十应力仪附件 ，可 精确设定入射角aB是千分尺尺体 ，c是千分尺触头 ， 试拌与 c重合 ．可 以随千分尺触头沿 自身表 面法线方 向移动。 图 1 具有 D／max一3c衍射仪广角测角但聚焦 几何的x射线中心柬光程 图 A—— 表面膜平面 ．正常聚焦时试样表面 目—— 基悼表面，有偏心时试样表面 — — 表面膜厚度 — — x射线源焦点 0—— 捌角计轴心 口—— 偏心对 射线柬中心与试样表面之交点 n——x射线^射角 R—— 衍射仪半径 图2 实验 i的布置示意图 — — 无偏心时衍射线 的焦点 ，。—— 有偏心时衍射线与衍射但圆的交点 — — 实验在 rl本理学 D／max一3CX射线衍射仪上进行。 衍射峰位移量 CrKa，4OkV ．30mA ．DS= 0．1。，RS= 0．15ram