理论翻译.doc

Spontaneous Patterning of Surfaces by Low-Energy Ion Beams 摘要:由一个，从不同的表面动力学过程之间的平衡导致了低能量离子束模式的形成。一些表面粗糙度增加（例如，溅射），而其他往往使表面光滑（如，扩散）以及它们之间的相互作用导致了表面上典型的周期性发展。在这一章中，我们描述了不同的物理机制,它有助于溅射条纹形成及其依赖的流量和温度工艺参数。这是用来建立一个线性不稳定模型，可以应用在了解不同加工条件下所发現到的图案形成上的不同特性。 1 引言 离子束图形的形成现象（也称为溅射条纹）非常容易描述。一个准直低能离子束用于轰击表面，最初单调的形貌自发的发展为一个大面积上有序的周期性。一个很好的例子就是，如图一，原子力显微镜（AFM）所示的一种非晶态SiO2表面上形成的溅射条纹。在这个例子中，一个1千电子伏氙离子束被用来照射在一个54?从正常的方向角的表面，图中方向箭头所示。溅射后，表面出现了一个一维的表面正弦曲线的频率，波长约30纳米。 条纹高度大约是波长的十分之一，这是典型的经常发现的高宽比。在这个材料中，表面上的图案的方向是由在离子束的方向决定，也就是说，如果在离子束的方向对于正常表面改变了，那么旋转图案也改变了。 该图案不需要任何掩盖或束光栅，因此它的出现，必须存在于物理学的离子和表面之间的相互作用之间。因此，了解条纹形成为深入了解基本的动力学机制表面上，非平衡条件下的高度溅射轰击提供了巨大作用。此外，因为该模式通常具有体积小，它代表了表面上纳米级图案自组织特性的便宜的方法。然而，尽管他们是在45年前第一次被观察到，了解在不同的条件和控制它们的物理机制下形貌的丰富多样发展仍然代表一个重大的挑战。 在一般意义上，这种纹形成的类型可以被理解为，采用离子轰击引起不同的动力学过程之间动态平衡的结果。其中的一些过程，例如，溅射清除原子，导致表面粗糙。另一些过程，表面扩散的点缺陷，引起表面平滑。这些同步过程之间的竞争导致表面上选择优先的长度尺度，表面上显现为波纹特征的图像。过程之间的转移（例如，通过改变平衡流量，温度或其他加工条件），可用于引发从一种类型的过渡另一种行为。 本章的目的是描述不同的物理机制，这是在溅射条纹的中心，并把这些机制与涉及到不同类型的图案联系起来。首先，我们描述了一个已经被观察的图案现象范围并在其中发现过程机制。在下面的部分，我们描述了活跃在溅射之间的动力学机制并利用它们来开发一个线性不稳定模型，解释许多特性的条纹格式。我们利用这个模型，不同加工条件下和不同实验观察配合在一起。我们结束在我们总结的纹波行为的理解是最缺乏，为今后的发展途径。对于除可提供进一步的细节这一章中，读者引导了一些宝贵的评论文章[3-6]。 2 不同的离子诱导图案形成 多年来，许多材料类（金属，半导体，氧化物）与不同类型表面结构（结晶，非晶，多晶）已经观察到了离子诱导图案的形成。这些形貌可以从不同的一维波坑和土堆到二维领域和量子点状个别岛屿。在某些情况下，观察到不粗糙或没有一致的图案出现。该图案的方向可由确定离子束的方向，而有些是决定于表面，而不是光线。此外，在不同过程条件下，在同一系统中可以观察到不同类型的行为。 不熟悉这个领域的读者，理解这种各种各样的图案可以是一个严峻挑战是。不过，已观察到的大部分行为可以对图案的形成分为几类。在下面的部分，我们描述的特征这些分类的功能和系统的材料和条件。请注意，描述的这些类别目的是组织各种各样的行为，可能不是严格解释观察到已经出现的行为。他们向我们反映目前的了解，并说明可能发生的行为的一致的方式类型。下面一节，线性不稳定模型，使我们联想到与相应的动力学过程中描述的图案的形成。Bradley–Harper Ripples (Ion-Induced Orientation) 由Bradley and Harper (BH) 发展的不稳定模型命名这种图案的行为方式，来解释他们的行为。这种类型的波纹发生在束固定在一个方向不垂直于表面，有几个典型特征。典型的他们是一维与表面波失要么是面向并行或垂直于地面上的投影的离子束的方向。相对于曲面法线的入射角该模式的取向是可以改变的。在角度接近正入射时，表面的波矢平行于表面上的离子的投影方向，而在较高的入射角度（接近掠入射）波失旋转到垂直于离子的方向。对于平行方向，已经观察到条纹沿着表面[8]，而垂直方向这些条纹认为是的固定。在波纹的早期形成阶段，观察到振幅是随着溅射时间指数成长的函数。只有在早期阶段观察到这种快速增长，随着溅射继续进行发现它饱和。在溅射范围的振幅在此期间增长迅速，通常观察到的纹波波长大致不变。一个BH条纹的例子是，如图2所示，对铜（001）表面诱导，波长和振幅随着时间共同演化。 这种类型的行为首次在SiO