金属有机化学气相沉积反应器技术及进展.pdf

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2017-06-02 发布于河南
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金属有机化学气相沉积反应器技术及进展

OI :10.16085/j.issn.1000 -6613.2002.06.012 　　　　　　　　　　　　　　·4　10　　·　　　　　　　　　　　　　　CH　E　M　IC　AL　I　N　U　ST　R　Y 　AN　　EN　G　IN　EE　R　IN　G　PR　O　GR　E　SS　　2002 21 6 　 1,2 1 1 2 1 许效红　王　民　侯　云　周爱秋　王　弘 (1 ;2 , , 250100) 　　简要介绍了金属有机化学气相沉积反应器技术的发展, 描述了几种典型反应器的结构过程特点, 讨论了反应器的设计、优化及发展趋势。　金属有机化学沉积, 反应器, 薄膜材料　TQ 028.2　　　　A 　　　　1000-6613 (2002)06-0410-04 　　 (metal organic , , chemical vapor deposition, MOCV ), , 。 , 1.1 　 (horizontal tube reactor) 、 , 。 [1] 。 Mansevit , 2060 , 、 , 、、 , [5,6] 。 : 。 (1);(2) [7] , , 、;(3) 1; [3] ;(4)。 , 。 [2,3] 。 , , MOCV 。。, 20 , , , [6, 8, 9]。 [3, 4] , , 。 MOCV ; , 、。、、。Ⅲ～ Ⅴ, 。 MOCV :, , ;, , , 。, 1　 MOCV 。　2002-02-27。 1　反应器的概况及发展　 “863” (863-715-002- 0110)。 MOCV 、　(1965—), , , , 、、、。。0531-8564204。　6 　　　　　　　　　　　:　　　　　　　　　　　·　41　1 　·　 1.3 　 (vertical rotating disk reactor, R R)