实际高数值孔径光刻系统的偏振分析_罗红妹.pdf

第 卷 第 期 ， ３３ 　 １１ 光 学 学 报 Ｖｏｌ．３３ Ｎｏ．１１ 　 　 　 年 月 ， ２０１３ １１ ＡＣＴＡ ＯＰＴＩＣＡ ＳＩＮＩＣＡ Ｎｏｖｅｍｂｅｒ ２０１３ 　 　 　 实际高数值孔径光刻系统的偏振分析 罗红妹 岑兆丰 李晓彤 张鲁薇 张跃骞 　 　 　 　 （ ， ） 浙江大学光电信息工程学系 浙江杭州 ３１００２７ ， （ ） ， 摘要 在光学系统偏振传输理论的基础上 对一高数值孔径 ＮＡ 的透射式光刻系统进行了偏振分析 分析中考虑 　 ——— 、 ， 了系统的实际特性 现有工艺水平可制备的增透膜 薄膜和基底材料的吸收作用以及偏振照明 以增加分析结 。 、 、 ， 、 果的可靠性 通过计算系统各光学界面的透射率 反射率 吸收率及二次衰减值等偏振参数 得到镀膜 吸收作用 。 ， 以及不同偏振照明对系统传输性能和成像性能的影响 结果表明镀膜能有效提高该光刻系统的性能及稳定性 并 ； ， 可以将不同偏振照明对该系统性能的影响减小至可忽略的水平 同时 显著的基底吸收作用是该系统能量损失的 ， 。 主因 但吸收引入的偏振作用相对总体而言较小 ； ； ； ； ； 关键词 光学设计 投影光刻 偏振分析 高数值孔径 实际系统 增透膜 　 中图分类号 文献标识码 ： ／ ＴＮ３０５．７ Ａ ｄｏｉ １０．３７８８ＡＯＳ２０１３３３．１１２２００２ 　 　　　 　 　　　 ＰｏｌａｒｉｚａｔｉｏｎＡｎａｌ ｓｉｓｏｆａＲｅａｌＨｉ ｈＮｕｍｅｒｉｃａｌＡ ｅｒｔｕｒｅ 　 ｙ 　 　　 　 ｇ 　 　 ｐ Ｏ ｔｉｃａｌＬｉｔｈｏ ｒａ ｈ ｐ 　 ｇ ｐ ｙ ＬｕｏＨｏｎ ｍｅｉ ＣｅｎＺｈａｏｆｅｎ ＬｉＸｉａｏｔｏｎ Ｚｈａｎ Ｌｕｗｅｉ Ｚｈａｎ Ｙｕｅ ｉａｎ 　 　 　 　 　 　 　 ｇ ｇ ｇ ｇ ｇ