接触式轮廓测量仪与非接触式轮廓测量仪对比分析.pdf

中图仪器 接触式轮廓测量仪与非接触式轮廓测量仪对比分析 前言：目前市场上的轮廓测量仪主要有接触式轮廓测量仪和非接触式轮廓测量仪，本 文将从功能、原理、应用三个方面对这两种轮廓测量仪进行对比分析。  功能 1.接触式轮廓测量仪 （以中图仪器SJ5700 为例）可测量各种精密机械零件的素线轮廓 形状参数，角度处理（坐标角度，与Y 坐标的夹角，两直线夹角）、圆处理（圆弧半径，圆 心到圆心距离，圆心到直线的距离，交点到圆心的距离，直线到切点的距离）、点线处理（两 直线交点，交点到直线距离，交点与交点距离，交点到圆心的距离）、直线度、凸度、对数 曲线、槽深、槽宽、沟曲率半径、沟边距、沟心距、轮廓度、水平距离等形状参数。 2.非接触式轮廓测量仪 （以中图仪器SuperView W1 光学3D 轮廓仪为例）适用于各类 1 中图仪器 光滑、连续光滑和适度粗糙物体表面从毫米到亚微米、纳米尺度的3D 形貌轮廓、坐标、厚 度、粗糙度、体积、表面纹理等测量。  工作原理 1.接触式轮廓测量仪测量原理为直角坐标测量法，即通过X 轴、Z 轴传感器，测绘出被 测零件的表面轮廓的坐标点，通过电器组件，将传感器所测量的坐标点数据传输到上位PC 机，软件对所采集的原始坐标数据进行数学运算处理，标注所需的工程测量项目。 2.非接触式轮廓测量仪是利用光学显微技术、白光干涉扫描技术、计算机软件控制技术 和 PZT 垂直扫描技术对工件进行非接触测量，还原出工件3D 表面形貌宏微观信息，并通 过软件提供的多种工具对表面形貌进行各种功能参数数据处理，实现对各种工件表面形貌的 微纳米测量和分析的光学计量仪器。  典型应用 1.接触式轮廓测量仪广泛应用于机械加工、汽车、摩托车、精密五金、精密工具、刀具、 模具、光学元件等行业。适用于科研院所、大专院校、计量机构和企业计量室。 在汽车、摩托车、制冷行业,可测汽车、摩托车、压缩机的活塞、活塞销、齿轮和气门 顶杆的母线参数等.并可测量各种斜形零件的参数。 在轴承行业,可测内外套圈的密封槽形状(角度、倒角R、槽深、槽宽等);各种滚子轴承的 滚子和套圈母线的凸度、角度、对数曲线; 电机轴、圆柱销、活塞销、滚针轴承、圆柱滚子 轴承、直线轴承的滚动体和套圈的直线度；球轴承沟道的沟曲率半径及沟边距;双沟轴承的 沟心距；四点接触轴承(桃形沟)的沟心距和沟曲率半径等。 2 中图仪器 3 中图仪器 4 中图仪器 5 中图仪器 2. 非接触式轮廓测量仪 （以中图仪器SuperView W1 光学3D 轮廓仪）对各种产品、 部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、共面性、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐 蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、蚀刻情况、弯曲变形情况、加工情况、材料支撑率等表面形 貌特征进行测量和分析。 行业领域 应用对象 备注 6 中图仪器 合成材料、柔软材料、易腐蚀材料 表面形貌特征测 材料、精密加工行 蚀刻加工如硅纳米线样品化学蚀刻深度和面积测量 量分析 业 非金属表面如玻璃、砂轮、有色金属如轴承钢球、轧制铝膜 汽车行业 曲轴表面的粗糙度、腐蚀和磨损表面形貌、喷油嘴、机械密封 特征测量分析 液晶、平板显示行