AuSiO2纳米多层薄膜的制备及其性质表征.pdfVIP

第 55 堪第7 期 2006 年7 月 物理学报 Vo1.55 ,No. 7 ,Ju1y ， 2创炀 1棚-32四12酬155(07)/3730峭 ACTA PHYSICA SINICA @2(刷 Chin .Phys .soc . 纳米多层薄膜的制备及其性质表征怜 Au/Si0 2 1)t 焦力实1) 张海龙1) 李向阳3) 张苦川 张波择 1)(北京科技大学材料科学与工程学院，北京 1刷刷 2)(大连理工大学环城与生命学院.大连 11ω24) 3)(钢铁研究总院功能材料研究所，北京 l(刷81) (2∞5 年 12 月 16 日收到叫刷年 1 月 16 日收到修改稿) 利用多靶磁按溅射技术制备了 Au/SiOz纳米颗粒分散氧化物多居复合薄膜.研究了在保持 Au 单层颗糙膜凯积 的沉棋时间及 的沉积时间一定而改变薄膜厚度时，多层薄膜在薄膜厚度 时间…定时薄膜厚度一定、变化 Si0 SiO l 2 方向的微观结构对吸收光谱的影响.研究结果表明:具有纳米底状结构的 Au/SiOz 多属薄膜在 5ωm波长附近有 明显的表阳等离子共振吸收峰，吸收峰的强度随 Au 颗粒的浓f宽增加而增强，在 Au 颗粒浓度相同的情况下，复合薄 膜光学吸收强度随薄膜厚度的增加而增强.但~金属颗糙的浓度增加到一定程度时，金属颗粒相互接触，没有观察 到纳米展状结构，薄膜不显示共振吸收峰特征.用修正后的 M帽G(Maxwell-Gam耐)理论对吸收光谱进行了模拟，得到 了与实验一致的结果. 关键词: Au/Si0 纳米复合薄膜，多靶磁控溅射，吸收光谱，有效介质理论 2 PACC: 7865 , 8115 540-560 波 nm 面等离子共振，Au/SiO z 多层薄膜在 1.引言 长附近有明显的表酣等离子共振收收峰，且吸收峭 含囊的增加阳增强.本文用相间的技 的强度随 Au 以 Au/Si0 为代表的金属纳米颗粒分散氧化物 2 颗粒的形状一致