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超声喷雾热分解法制备ZnO薄膜及衬底温度对其性能的影响.pdf
43卷第3期 人 工 晶 体 学 报 v。1．43N。．3
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超声喷雾热分解法制备ZnO薄膜及
衬底温度对其性能的影响
黎波坩，龚恒翔2，孟祥杰1，任维义1，陈太红1
(1．西华师范大学理论物理研究所，南充637009；2．重庆理工大学物理实验中心，重庆400054)
摘要：以醋酸锌水溶液为前驱体溶液，采用超声喷雾热分解法在玻璃衬底上制备得到了温度在350℃到450℃范
围内的ZnO薄膜。用x射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)及紫外一可见分光光度计分析了ZnO薄膜的晶体结构、
微观形貌及其光学性质，重点探究了衬底温度对ZnO薄膜生长过程及微观结构的影响。分析表明：制备的ZnO薄
膜为六角铅锌矿结构，衬底温度对薄膜的质量有着重要的影响；所得薄膜在400℃时结晶性能好，沿c轴择优取向
生长，具有优良的均匀性和致密性；所制备的薄膜在可见光区透过率高达86％以上，在紫外光区吸收强烈。
关键词：ZnO薄膜；超声雾化热解法；衬底温度；微观形貌；透过率
中图分类号：0484 文献标识码：A
InfluenceofSubstrate onthePerformanceof
Temperature
ZnOThinFilms Ultrosonic Method
Preparedby SprayPyrolysis
LI
B01”，GONG
Heng-xian92，MENGXiang-jiel，RENWei．yil，CHENTai—hong
ofTheoretical WestNormal
(1．Institute Physics，China University，Nanchong637009，China；
of
2．PhysicsExperimentCenter，ChongqingUniversity 400054，China)
Technology，Chongqing
13 24
(Received 2014)
September2013，acceptedJanuary
thinfilmswere Oil substrateultrasonic from
Abstract：ZnO preparedglass by method350
spraypyrolysis
oCto zincacetate as
solutions solution．The and
450℃，using precursor crystalstructure．morphology
of
theZnOfilmswere electron
opticalproperty
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