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第25卷第2期 机械设计与研究 V01．25No．2
MachineandResearch
2009年4月 Design Apr．，2009
文章编号：1006-2343(2009)02-019-04
研磨表面微观形貌的三维检测及Areal表征
陈国强1。张维强2。彭文静1
2．南京农业大学工学院，南京210031)
摘要：介绍了三维表面微观形貌的检测方法，分析了采用高斯滤波提取基准中面的原理，针对研磨表面
形貌的表征选取了一组Areal表征参数。运用原子力显微镜(AFM)扫描研磨工件的表面，采用高斯滤波提取
基准中面进而分离出表面微观形貌的三维信息，在此基础上计算出表征参数值。试验表明研磨表面微观形貌
呈现高斯分布规律，采用高斯滤波方法及所选的Areal表征参数能够有效地表征研磨表面的三维微观形貌。
关键词：微观形貌；Areal表征；原子力显微镜；高斯滤波
中图分类号：THl61+．14文献标识码：A
Researchonthe3．DDetectionandArealCharacterizationof
of Surface
Micro-topographyLapping
CHEN
Guo—qian91，ZHANGWei—qian92，PENGWen-jin91
Instituteof
(1．EngineeringTrainingCenter，HunanEngineering，Xiangtan411104，China；
of Agricultural 210031，China)
2．CollegeEngineering，NanjingUniversity，Nanjing
the method surface’S Gaussian
Abstract：Thisintroduces of3-D
paper preciselydetecting micro-topography．The
filtermethodfor referenceis acollectionofAreal isselectedtocharacterize
extracting planeanalyzed，and parameters
the atomicforce usedsc$fflthe therefer-
surface to surface，and
lapping topography．Themicroscope(AFM)islapping
the thecharacter-
enee isextractedGaussianfilterSO鹊todividesurface information．then
plane by micro·topography
ization showsthatthe surface’s takesona
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