第4章 电容式传感器.ppt

第4章??????? 电容式传感器 传感器原理及应用 将上式带入后，输出电压与位移变化成理想线性关系 极板在中间位置时 动片上移时两电容分别变化为 4.3.1 电桥电路 传感器原理及应用 第4章??????? 电容式传感器 交流电桥的多种形式 传感器原理及应用 第4章??????? 电容式传感器 交流电桥的主要特点 电桥输出调幅波，其幅值与被测量成比例，因此电桥电路又称为调幅电路，其后要接解调电路； 输出电压与电源电压成比例，因此要求采用单一频率，幅值稳定的电源； 传感器必须工作在平衡位置附近，否则电桥非线性增大； 输出阻抗很高(一般达几兆欧至几十兆欧)，输出电压低，必须后接高输入阻抗、高放大倍数的处理电路。 第4章??????? 电容式传感器 传感器原理及应用 UE 高频对称方波电源，D1、D2 二极管，特性相同； C1、C2传感器差动电容；R1、R2 为固定电阻，RL负载。 4.3.2 二极管双T型电路 第4章??????? 电容式传感器 传感器原理及应用 工作原理分析 t 0 电路接通，C1充电至UC1= UE ； 双T型电路动画 负载上电流 ：IL’= I1’（放电）+ I2’（电源） t = t2 ，UE正半周，D1导通，D2截止 C1 = C2时 IL = IL’ 大小相等方向相反 t = t1 ，UE负半周， D1截止，D2导通 负载上电流 ：IL = I1（电源）+ I2（放电） 4.3.2 二极管双T型电路 第4章??????? 电容式传感器 传感器原理及应用 双T型电路动画 4.3.2 二极管双T型电路 第4章??????? 电容式传感器 传感器原理及应用 双T型电路动画 4.3.2 二极管双T型电路 第4章??????? 电容式传感器 传感器原理及应用 一个周期内RL 上的平值电压为 一个周期内负载 RL 上输出电压 URL与电容的差值 (C1-C2) 成正比。 式中：M 为常数； UE 、 f 为电源电压幅值和频率。 4.3.2 二极管双T型电路 传感器原理及应用 第4章??????? 电容式传感器 电 路 原 理 框 图 电路组成 Ⅰ、Ⅱ电压比较器；双稳态触发器作输出; D1、D2与电阻 R1 、R2组成充放电回路， R1 =R2 ； Uc 参考直流电压，与F、 G电压比较; 电容C1、C2为传感器差动电容， C1 = C2 。 4.3.3 差动脉冲调宽电路 传感器原理及应用 第4章??????? 电容式传感器 4.3.3 差动脉冲调宽电路 传感器原理及应用 第4章??????? 电容式传感器 4.3.3 差动脉冲调宽电路 传感器原理及应用 第4章??????? 电容式传感器 变面积型，输出与两电容的面积差值成正比 变极距型，输出与两电容的极距差值成正比 4.3.3 差动脉冲调宽电路 传感器原理及应用 第4章??????? 电容式传感器 采用直流供电； 适用于变极板距离与变面积型差动式电容传感器，具有线性特性； 转换效率高，经低通放大器有较大直流输出； 不需要解调电路 差动脉冲调宽电路特点： 4.3.3 差动脉冲调宽电路 传感器原理及应用 第4章??????? 电容式传感器 C0 固定电容， Cx 传感器电容， 设K为理想运放，a为虚地；设开环放大器有高的输入阻抗 输入 输出 对于单极板平板电容器传感器，输出电压U0与机械位移δ成线性关系，解决了单电容的非线性关系问题。 输出 4.3.4 运算放大器式电路 传感器原理及应用 第4章??????? 电容式传感器 调频测量电路把电容传感器作为振荡器谐振回路的一部分，当输入被测信号使电容发生变化时，振荡器的振荡频率发生变化。 4.3.5 调频电路 传感器原理及应用 第4章??????? 电容式传感器 4.3.5 调频电路 传感器原理及应用 第4章??????? 电容式传感器 优点： 输出频率信号，便于数字仪器测量； 可与计算机通信，抗干扰能力强； 输出灵敏度高； 缺点： 由于系统是非线性的，需要加入鉴频器将频率变化转化换为电压的变化。 调频电路特点： 4.3.5 调频电路 第4章???????电容式传感器 4.4 电容式传感器的应用举例 传感器原理及应用 结构：球型、平面型差动电容传感器 电容传感器盒膜片结构 凸玻璃圆片 弹性膜片(动电极) 固定电极 P P 弹性膜片(动电极) 固定电极 1）电容式压力传感器 第4章???????电容式传感器 1）电容式压力传感器 传感器原理及应用 球型结构： 金属弹性膜片—动片（测量膜）；两个玻璃球面上镀有金属—定片；膜片左右两侧充满硅油。