石墨烯纳米带场效应管2016.docVIP

石墨烯纳米带场效应管原理 微电子与固体电子学专业 学生 潘立丁 S111411 指导教师 石瑞英 摘要：由于石墨烯的导带与价带之间没有能隙，做成晶体管器件时，很难实现开关特性，而且若要运用于现在普遍使用的逻辑电路，其金属性也是一个巨大的难题。。Abstract：Because there is no energy gap in graphene，it is very difficult to achieve on-off characteristic while use it to make transistors, and it is metallic behavior also have been a big problem if we want to use it in logical circuits. How to get an energy gap in grapheme has become the key point of the fabrication of grapheme transistors. This paper focus on graphene nanoribbon FETs, the comparison of two structures (GNR SBFET and GNR MOSFET) is used to analyze the main behaviors of graphene nanoribbon FETs. Key words：石墨烯（Graphene）是一种由碳原子以sp2杂化轨道组成六角型呈蜂巢晶格的平面薄膜，只有一个碳原子厚度的二维材料。2004年，从石墨中分离出石墨烯目前是世上最薄却也是最坚硬的材料?，它几乎是完全透明的，只吸收2.3%的导热系数高达5300 W/m·K，高于碳纳米管和金刚石，常温下其电子迁移率超过15000 cm2/V·s，又比碳管或硅晶体高，而电阻率只约10-6?Ω·cm，比铜或银更低，为目前世上电阻率最小的材料。因为它的电阻率极低，电子的速度极快，因此被期待可用来发展出更薄、导电速度更快的新一代电子元件或电晶体。引入能隙的手段主要有：(1) 利用对称性破缺场或相互作用等使朗道能级发生劈裂，在导带与价带之间引入能隙。这主要通过掺杂、外加电场、化学势场等方式在双层石墨烯中引入对称破缺，实现人工调制能隙。(2) 利用量子效应和边缘效应，通过形成石墨烯纳米结构(如纳米带)引入能隙，通过调节带宽，可以实现对宽度的调节。(3) 利用化学气相沉积法掺杂产生能隙，通过调节掺杂程度可实现对能隙的调节。(4) 利用基底作用诱导(如SiC基底上的外延石墨烯)产生能隙，通过调节基底的作用程度可实现对能隙的调节。为了要赋予单层石墨烯某种电性，会按照特定样式切割石墨烯，形成石墨烯纳米带（Graphene nanoribbon）。切开的边缘形状可以分为扶手椅形和锯齿形。 a 扶手椅形纳米带 b 锯齿形纳米带 图1 根据密度泛函理论计算得到的结果显示出扶手椅形具有半导体性质，其能隙与纳米带带宽成反比。采用紧束缚近似模型做出的计算，预测锯齿形具有金属键性质，又预测扶手椅形具有金属键性质或半导体性质；到底是哪种性质，要依宽度而定。实验结果，随着纳米带带宽减小，能隙会增大。 n = 3 n = 4 n = 5 n = 6 n = 7 n = 8 图3 采用紧束缚近似计算得出的扶手椅形纳米带结构带宽与能隙的关系 其中n为纳米带边缘碳原子个数 n = 4 n = 6 n = 8 n = 10 n = 12 n = 14 图4 采用紧束缚近似计算得出的锯齿形纳米带结构带宽与能隙的关系 其中n为纳米带边缘碳原子个数 石墨烯纳米带场效应管结构及特性 典型的石墨烯纳米带场效应管[5、7]结构图如图5所示。以碳化硅为衬底，沟道材料为石墨烯纳米带，源和漏采用肖特基接触，而栅介质层则用氧化铝和氢烷。 图5 石墨烯纳米带场效应管结构 图6显示的是在图5中结构之下纳米带宽度为10nm，